江阴市辉龙电热电器有限公司胡凯获国家专利权
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龙图腾网获悉江阴市辉龙电热电器有限公司申请的专利一种喷淋组件加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222631550U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420592242.3，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种喷淋组件加热装置是由胡凯;曾海涛;吴包开设计研发完成，并于2024-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种喷淋组件加热装置在说明书摘要公布了：一种喷淋组件加热装置，其特征是：它包括对喷淋头外圈加热的外圈加热装置和对喷淋头内圈加热的内圈加热装置，所述的内圈加热装置包括内圈金属上板（1）和内圈金属下板（2），在内圈金属上板（1）和内圈金属下板（2）之间加装有两块云母板（3），在两块云母板（3）之间加装有发热膜（4），发热膜（4）与控制电路电气连接；所述的外圈加热装置包括外圈金属上板（5）和外圈金属下板（6），在外内圈金属上板（5）和外圈金属下板（6）之间加装有五块云母板（3），在相邻的两块云母板（3）之间加装有金属发热丝（7），金属发热丝（7）与控制电路电气连接。本实用新型贴合度高，加热均匀，能保证气体进入ALD设备的的加热腔体时，温度维持在窗口期内。
本实用新型一种喷淋组件加热装置在权利要求书中公布了：1.一种喷淋组件加热装置，其特征是：它包括对喷淋头外圈加热的外圈加热装置和对喷淋头内圈加热的内圈加热装置，所述的内圈加热装置包括内圈金属上板（1）和内圈金属下板（2），在内圈金属上板（1）和内圈金属下板（2）之间加装有两块云母板（3），在两块云母板（3）之间加装有发热膜（4），发热膜（4）与控制电路电气连接；所述的外圈加热装置包括外圈金属上板（5）和外圈金属下板（6），在外圈金属上板（5）和外圈金属下板（6）之间加装有五块云母板（3），在相邻的两块云母板（3）之间加装有金属发热丝（7），金属发热丝（7）与控制电路电气连接。
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