颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司段伟获国家专利权
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龙图腾网获悉颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司申请的专利晶圆放置检反系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222637231U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420594805.2,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型晶圆放置检反系统是由段伟;李元旭;范中辉设计研发完成,并于2024-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆放置检反系统在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种晶圆放置检反系统,其包括晶圆盒,包括具有开口的容置腔,所述容置腔间隔开设有若干用以容置晶圆的卡槽;位于若干所述卡槽排布方向一侧的光电传感器,且所述光电传感器位于与所述晶圆的缺口相对应的位置处。本实用新型通过所述光电传感器能够检测到所述晶圆盒内放置方向错误的所述晶圆,从而确保所述晶圆的缺口能够和机台上的挡PIN正确匹配以将所述晶圆装载到机台的指定位置。
本实用新型晶圆放置检反系统在权利要求书中公布了:1.一种晶圆放置检反系统,其特征在于,包括:晶圆盒200,包括具有开口的容置腔201,所述容置腔201间隔开设有若干用以容置晶圆100的卡槽202;位于若干所述卡槽202排布方向一侧的光电传感器300,且所述光电传感器300位于与所述晶圆100的缺口101相对应的位置处。
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