颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司张保根获国家专利权
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龙图腾网获悉颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司申请的专利用于芯片制造的药液供给装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222637232U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420595368.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型用于芯片制造的药液供给装置是由张保根设计研发完成，并于2024-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于芯片制造的药液供给装置在说明书摘要公布了：一种用于芯片制造的药液供给装置，包括：工作桶、进液管路、出液管路、与所述工作桶连通的排气管路、控制所述排气管路导通或关闭的电控阀体、连接于进液管路上的泵体和补给桶；所述进液管路具有与所述补给桶连通的进液进口和与所述工作桶连通的进液出口，所述进液进口所在高度高于所述进液出口所在高度；所述用于芯片制造的药液供给装置还包括控制单元和设置于所述工作桶上的液位传感器，所述液位传感器、所述电控阀体均与所述控制单元通讯连接；控制单元根据液位传感器数据控制电控阀体的关闭。本实用新型公开的药液供给装置能够及时的提醒用户更换药液，在更换药液的时候能够减少液体与外界空气的接触，从而减少了气泡的产生。
本实用新型用于芯片制造的药液供给装置在权利要求书中公布了：1.一种用于芯片制造的药液供给装置，其特征在于，包括：工作桶、进液管路、出液管路、与所述工作桶连通的排气管路、控制所述排气管路导通或关闭的电控阀体、连接于进液管路上的泵体和补给桶；所述进液管路具有与所述补给桶连通的进液进口和与所述工作桶连通的进液出口，所述进液进口所在高度高于所述进液出口所在高度；所述用于芯片制造的药液供给装置还包括控制单元和设置于所述工作桶上的液位传感器，所述液位传感器、所述电控阀体均与所述控制单元通讯连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司，其通讯地址为：215024 江苏省苏州市工业园区凤里街166号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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