洛阳鸿泰半导体有限公司姚剑龙获国家专利权
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龙图腾网获悉洛阳鸿泰半导体有限公司申请的专利一种带气帘的单晶硅片酸腐蚀机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222637230U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420474683.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种带气帘的单晶硅片酸腐蚀机是由姚剑龙;田波峰;董杨设计研发完成，并于2024-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带气帘的单晶硅片酸腐蚀机在说明书摘要公布了：本实用新型提出了一种带气帘的单晶硅片酸腐蚀机，包括腐蚀机箱体，腐蚀机箱体上设有半封闭操作室，半封闭操作室的前侧为开口状、后侧设有壁抽装置，半封闭操作室的底部设有操作台，操作台上设有多个操作槽，操作槽的前侧设有压空管道，压空管道上设有用于和壁抽装置配合以形成气帘的出气孔；所述压空管道的一端为压空进气口、另一端为封闭状。本实用新型在半封闭操作室内设置壁抽装置的同时，还设置有通过持续通入压空能够形成稳定气流的压空管道，气流沿操作台流向半封闭操作室内，形成气帘阻隔结构，且气帘尾部连接壁抽口处，与壁抽口处的负压形成对气流环，从而实现对酸性气体氮氧化物烟气有效覆盖，阻止腐蚀机内有害烟雾的外溢。
本实用新型一种带气帘的单晶硅片酸腐蚀机在权利要求书中公布了：1.一种带气帘的单晶硅片酸腐蚀机，包括腐蚀机箱体2，其特征在于，腐蚀机箱体上设有半封闭操作室1，半封闭操作室1的前侧为开口状、后侧设有壁抽装置4，半封闭操作室的底部设有操作台3，操作台上设有多个操作槽6，操作槽的前侧设有压空管道5，压空管道上设有用于和壁抽装置配合以形成气帘的出气孔501；所述压空管道5的一端为压空进气口、另一端为封闭状。
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