颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司郭振获国家专利权
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龙图腾网获悉颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司申请的专利晶圆对中组件及具有其的对中设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222637257U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420477326.2，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型晶圆对中组件及具有其的对中设备是由郭振设计研发完成，并于2024-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆对中组件及具有其的对中设备在说明书摘要公布了：一种晶圆对中组件及具有其的对中设备，所述晶圆对中组件包括：对中盘，包括位于其中部的镂空部、朝向所述镂空部的若干对中壁，不同所述对中壁的半径不同；平移机构，驱动所述子对中盘居中或向边缘移动；固定机构，用以吸附固定晶圆；升降机构，驱动所述固定机构在所述镂空部处上下移动。本实用新型的晶圆对中组件，通过设置有多个尺寸的对中壁，可以对不同尺寸的晶圆进行对中，兼容性高。
本实用新型晶圆对中组件及具有其的对中设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆对中组件，其特征在于，包括：对中盘，包括位于其中部的镂空部、朝向所述镂空部的若干对中壁，不同所述对中壁的半径不同；所述对中盘包括相互独立的至少两个子对中盘，所述子对中盘的内侧设有缺口，所有的缺口共同构成所述镂空部；所述子对中盘上设有朝向所述缺口的若干对中段，不同的对中段的半径不同，不同子对中盘上相同半径的对中段拼接形成所述对中壁；平移机构，驱动所述子对中盘向中心或向外边缘移动；固定机构，用以吸附固定晶圆；升降机构，驱动所述固定机构在所述镂空部处上下移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司，其通讯地址为：215024 江苏省苏州市工业园区凤里街166号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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