江苏先导微电子科技有限公司冯长卫获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉江苏先导微电子科技有限公司申请的专利缓冲装置及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222631549U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420461635.0，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型缓冲装置及镀膜设备是由冯长卫;袁铮;何坤鹏设计研发完成，并于2024-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本缓冲装置及镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种缓冲装置，包括缓冲件、匀气结构、阀门组件及抽放气组件。缓冲件具有缓冲腔及与缓冲腔连通的送料口和通气口；匀气结构设置于缓冲腔内，且将缓冲腔分隔成通气空间及缓冲空间，送料口与缓冲空间连通，通气口与通气空间连通，匀气结构能够对流经的气体进行缓冲处理；阀门组件用于打开或关闭送料口；抽放气组件与通气口连通，且抽放气组件能够对缓冲腔抽真空和破真空。由于通气空间和缓冲空间之间设置有匀气结构，匀气结构能够对流经的气体进行缓冲，从而在抽真空和破真空时对气流进行缓冲，避免气流直接冲击缓冲空间中的基片，保证基片的稳定性，避免基片晃动损伤，进而保证后续的镀膜效果。本申请还涉及一种镀膜设备。
本实用新型缓冲装置及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种缓冲装置，其特征在于，包括：缓冲件，具有缓冲腔及送料口和通气口；匀气结构，设置于所述缓冲腔内，且将所述缓冲腔分隔成通气空间及缓冲空间，所述通气空间和所述缓冲空间通过所述匀气结构导通，且所述匀气结构能够对流经的气体进行缓冲处理，所述送料口与所述缓冲空间连通，所述通气口与所述通气空间连通；阀门组件，设置于所述缓冲件，用于打开或关闭所述送料口；抽放气组件，与所述通气口连通，且所述抽放气组件能够对所述缓冲腔抽真空和破真空。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏先导微电子科技有限公司，其通讯地址为：221116 江苏省徐州市高新技术产业开发区先导南路2号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号