广东长信精密设备有限公司蔡志仁获国家专利权
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龙图腾网获悉广东长信精密设备有限公司申请的专利一种晶圆自动纠偏旋转夹持装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222637268U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420442420.4，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆自动纠偏旋转夹持装置是由蔡志仁;黄敏光;邹展;张庆;吴伟平设计研发完成，并于2024-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆自动纠偏旋转夹持装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体晶圆技术领域，提供了一种晶圆自动纠偏旋转夹持装置，包括中空转轴、驱动机构、传动机构、载盘，所述载盘上设有用于夹持晶圆的夹持机构；所述夹持机构包括多个滑动连接在载盘上的限位模块；所述多个限位模块沿中空转轴的轴线圆周阵列布置；所述限位模块包括滑动连接在载盘上的滑块、设置在滑块上的限位柱、设置在载盘上的纠偏组件；所述限位柱的顶端设有凸起，多个限位柱的凸起配合顶紧晶圆的外周；所述纠偏组件用于保持晶圆的受力均匀。该装置结构紧凑、制造方便，在高速旋转下仍能保持夹持晶圆的稳定性，还能实现多个自由度的调节，能够实现自动纠偏、夹持、旋转、升降等动作。
本实用新型一种晶圆自动纠偏旋转夹持装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆自动纠偏旋转夹持装置，包括中空转轴、驱动机构、传动机构，所述驱动机构与传动机构传动连接并用于带动中空转轴绕自身轴线旋转，其特征在于，所述晶圆自动纠偏旋转夹持装置还包括与中空转轴同轴设置的载盘，所述载盘上设有用于夹持晶圆的夹持机构；所述夹持机构包括多个滑动连接在载盘上的限位模块；所述多个限位模块沿中空转轴的轴线圆周阵列布置；所述限位模块包括滑动连接在载盘上的滑块、设置在滑块上的限位柱、设置在载盘上的纠偏组件；所述限位柱的顶端设有凸起，多个限位柱的凸起配合顶紧晶圆的外周；所述纠偏组件用于保持晶圆的受力均匀。
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