广东智赢半导体技术有限公司蒋江坤获国家专利权
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龙图腾网获悉广东智赢半导体技术有限公司申请的专利一种晶圆匀胶用电机结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222638306U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420396009.8,技术领域涉及:H02K7/14;该实用新型一种晶圆匀胶用电机结构是由蒋江坤;雷聪;余磊设计研发完成,并于2024-03-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆匀胶用电机结构在说明书摘要公布了:本申请涉及电机的技术领域,尤其涉及一种晶圆匀胶用电机结构,其包括电机、微型气泵、导气管,电机包括外壳、定子、转子及主轴,主轴穿设于转子的中心孔内并与转子固定连接,定子固定于外壳内,转子转动安装于定子的中心孔内,主轴两端部均伸出外壳,主轴端部开设有贯穿其本体的通孔,微型气泵固定于主轴上,导气管穿入通孔内且一端口与通孔连通,导气管与微型气泵连接且微型气泵的输出口与导气管另一端口连通,本申请微型气泵通过导气管对通孔内进行抽真空,使得主轴通孔处于负压环境实现主轴吸附固定晶圆,晶圆不容易被刮伤,且主轴与晶圆的接触面小,光刻胶不容易扩散到主轴上,有利于减少光刻胶回粘晶圆造成晶圆污染的情况。
本实用新型一种晶圆匀胶用电机结构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆匀胶用电机结构,其特征在于:包括电机、微型气泵、导气管,所述电机包括外壳、定子、转子及主轴,所述主轴穿设于所述转子的中心孔内并与所述转子固定连接,所述定子固定于所述外壳内,所述转子转动安装于所述定子的中心孔内,所述主轴两端部均伸出所述外壳,所述主轴端部开设有贯穿其本体的通孔,所述微型气泵固定于所述主轴上,所述导气管穿入所述通孔内且一端口与所述通孔连通,所述导气管与所述微型气泵连接且所述微型气泵的输出口与所述导气管另一端口连通,所述微型气泵通过所述导气管在所述通孔内进行抽真空。
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