芯恩(青岛)集成电路有限公司毛飞鸿获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种用于拾取晶圆的机械手获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222627806U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420376681.0，技术领域涉及：B25J15/06；该实用新型一种用于拾取晶圆的机械手是由毛飞鸿设计研发完成，并于2024-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于拾取晶圆的机械手在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种用于拾取晶圆的机械手，包括：机械手主体和设置在机械手主体上的至少一个吸附装置，其中，每个吸附装置包括：吸附体、位于吸附体内的吸附针、第一气路、第二气路和主弹性件；所述吸附针为中空设置，且至少部分活动设置于所述吸附体的顶部；吸附体设置于机械手主体表面开设的放置槽中；第二气路与吸附针的气路相连通，用于为吸附针端头提供负压；主弹性件置于吸附体底部的空腔中，第一气路与空腔相连通，用于在产生负压时压缩主弹性件，从而将吸附体拉入放置槽内，以及用于在第一气路恢复常压时，释放主弹性件。即使晶圆发生形变，该机械手仍能够与晶圆的表面充分贴合，从而避免发生滑片。
本实用新型一种用于拾取晶圆的机械手在权利要求书中公布了：1.一种用于拾取晶圆的机械手，其特征在于，包括：机械手主体和设置在所述机械手主体上的至少一个吸附装置，其中，每个所述吸附装置包括：吸附体、位于吸附体内的吸附针、第一气路、第二气路和主弹性件；所述吸附针为中空设置，且至少部分活动设置于所述吸附体的顶部；所述吸附体设置于所述机械手主体表面开设的放置槽中；所述第二气路与所述吸附针的气路相连通，用于为所述吸附针端头提供负压；所述主弹性件置于吸附体底部的空腔中，所述主弹性件的一端连接在所述吸附体的底部，所述主弹性件的另一端连接在所述放置槽的底部；所述第一气路与所述空腔相连通，用于在产生负压时压缩主弹性件，从而将吸附体拉入所述放置槽内，以及用于在第一气路恢复常压时，释放主弹性件。
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