江苏先导微电子科技有限公司苗江涛获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏先导微电子科技有限公司申请的专利一种MPCVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222631557U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420378504.6，技术领域涉及：C23C16/511；该实用新型一种MPCVD设备是由苗江涛;冯曙光;赵俊贤设计研发完成，并于2024-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MPCVD设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及等离子体化学气相沉积技术领域，公开了一种MPCVD设备，包括波导装置、腔体、微波天线、锁套、连接件，波导装置连接在腔体的顶部，腔体内设有挡板，微波天线的一端穿过波导装置与腔体内的挡板形成一密封腔室，锁套滑动套设在微波天线的外侧，锁套通过连接件活动连接在波导装置的顶部，锁套可沿波导装置顶部所在平面水平移动，并带动微波天线在腔体内水平移动，以改变微波天线的中轴线在密封腔室的位置，本实用新型通过锁套带动微波天线移动，可以调整生成的离子球的形状和位置，使离子球处于最佳的位置和状态，进而提升气相沉积的沉积速度和质量。
本实用新型一种MPCVD设备在权利要求书中公布了：1.一种MPCVD设备，包括波导装置、腔体、微波天线、锁套、连接件，所述波导装置连接在腔体的顶部，所述腔体内设有挡板，所述微波天线的一端穿过波导装置与腔体内的挡板形成一密封腔室，其特征在于，所述锁套滑动套设在微波天线的外侧，所述锁套通过连接件活动连接在波导装置的顶部；所述锁套可沿波导装置顶部所在平面水平移动，并带动微波天线在腔体内水平移动，以改变微波天线的中轴线在密封腔室的位置。
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