恭喜常州承芯半导体有限公司夏恩波获国家专利权
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龙图腾网恭喜常州承芯半导体有限公司申请的专利晶圆传片机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222637247U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420357876.0，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型晶圆传片机构是由夏恩波;赵厚票;潘克成;吴坤设计研发完成，并于2024-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆传片机构在说明书摘要公布了：一种晶圆传片机构，包括：承载板，包括沿第一方向排布的第一定位区以及第二定位区，第一定位区用于定位晶圆载具的第一面，第二定位区用于定位晶圆载具与第一面相对的第二面；限位模块，位于第一定位区沿第一方向远离第二定位区的一侧，限位模块的中轴线与承载板沿第一方向的中轴线平行；多个第一定位模块，位于第一定位区与第二定位区之间，多个第一定位模块沿第二方向排布且关于限位模块的中轴线呈对称分布；限位模块与多个第一定位模块限定第一定位区。第一定位区与第二定位区上的晶圆载具颠倒放置，从第二定位区的晶圆载具传送至第一定位区的晶圆载具的晶圆实现了翻转，后续制程可在晶圆背面作业，改善晶圆表面翘曲情况，提升晶圆表面平整度。
本实用新型晶圆传片机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传片机构，其特征在于，包括：承载板，包括沿第一方向排布的第一定位区以及第二定位区，所述第一定位区用于定位晶圆载具的第一面，所述第二定位区用于定位晶圆载具与所述第一面相对的第二面；限位模块，位于所述第一定位区沿第一方向远离所述第二定位区的一侧，所述限位模块的中轴线与所述承载板沿第一方向的中轴线平行；多个第一定位模块，位于所述第一定位区与所述第二定位区之间，多个所述第一定位模块沿第二方向排布且关于所述限位模块的所述中轴线呈对称分布，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述限位模块与多个所述第一定位模块限定所述第一定位区。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人常州承芯半导体有限公司，其通讯地址为：213166 江苏省常州市武进区国家高新技术产业开发区淹城南路518号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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