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恭喜常州优佳电子科技有限公司张月红获国家专利权

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龙图腾网恭喜常州优佳电子科技有限公司申请的专利一种半导体基板构造获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222627328U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420276555.8,技术领域涉及:B24B37/10;该实用新型一种半导体基板构造是由张月红设计研发完成,并于2024-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体基板构造在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体基板构造,包括基板和抛光装置,所述基板的周围设置有抛光装置,所述基板的底部安装有托柱,所述托柱的底部安装有底座,所述底座的侧面连接有抛光液输送管道,所述抛光液输送管道道的一端连接有连接件,所述连接件的外圈套有载具,所述载具的表面安装有压力传感器,所述载具的底部连接有抛光盘,所述抛光盘的表面安装有抛光头,所述底座的表面设置有控制面板,所述底座的右下方设置有急停按钮。本实用新型通过抛光装置在半导体制造中执行化学机械抛光CMP有助于减小电子在半导体表面的散射,提高电子迁移率和改善晶体质量、确保一致性、提高工艺可控性,优化接触性能,降低漏电流。

本实用新型一种半导体基板构造在权利要求书中公布了:1.一种半导体基板构造,包括基板1和抛光装置2,其特征在于:所述基板1的周围设置有抛光装置2,所述基板1的底部安装有托柱201,所述托柱201的底部安装有底座202,所述底座202的侧面连接有抛光液输送管道道203,所述抛光液输送管道道203的一端连接有连接件204,所述连接件204的外圈套有载具205,所述载具205的表面安装有压力传感器206,所述载具205的底部连接有抛光盘207,所述抛光盘207的表面安装有抛光头208,所述底座202的表面设置有控制面板209,所述底座202的右下方设置有急停按钮210。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人常州优佳电子科技有限公司,其通讯地址为:213002 江苏省常州市新北区府翰苑78号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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