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龙图腾网恭喜无锡沃格自动化科技股份有限公司申请的专利一种晶圆切膜机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222628240U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323535150.6，技术领域涉及：B28D1/22；该实用新型一种晶圆切膜机构是由顾鑫;郑俭;高华;孙倩设计研发完成，并于2023-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆切膜机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种晶圆切膜机构，其包括搬运单元、旋转单元、径向调节组件、角度调节组件和切膜刀，搬运单元用于将切膜刀整体搬运至待切膜的晶圆上方，旋转单元用于驱动切膜刀转动以将晶圆的圆边处的膜片切除，径向调节组件用于改变切膜刀的切膜半径，角度调节组件用于将切膜刀旋转预设角度，并配合搬运单元将晶圆的直边处的膜片切除。上述晶圆切膜机构采用搬运单元配合径向调节组件和角度调节组件的方式，将晶圆上的圆边处以及直边的膜片裁切，不仅设计巧妙、易于实现，而且能够自动调整切割半径及角度，无需频繁调整切膜位置，显著提高了切膜效率，满足快节奏的生产要求。

本实用新型一种晶圆切膜机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆切膜机构，其特征在于，所述晶圆切膜机构包括三轴搬运机构和调整切膜装置，所述三轴搬运机构的驱动端连接所述调整切膜装置，其中，所述三轴搬运机构包括搬运单元和旋转单元，所述搬运单元包括X轴驱动组件、Y轴驱动组件和Z轴驱动组件，所述X轴驱动组件包括X轴驱动模组和X轴移动座，所述X轴移动座能沿X轴往复移动地装配在所述X轴驱动模组上，所述Y轴驱动组件安装于所述X轴移动座上，所述Y轴驱动组件包括Y轴驱动模组和Y轴移动座，所述Y轴移动座能沿Y轴往复移动地装配在所述Y轴驱动模组上，所述Z轴驱动组件安装于所述Y轴移动座上，所述Z轴驱动组件包括Z轴驱动模组和Z轴移动座，所述Z轴移动座能沿Z轴往复移动地装配在所述Z轴驱动模组上，所述旋转单元固定安装在所述Z轴移动座上，所述旋转单元的驱动端连接所述调整切膜装置，所述旋转单元被配置为驱动所述调整切膜装置旋转，所述调整切膜装置包括径向调节组件、角度调节组件和切膜刀，所述角度调节组件的固定端安装在所述径向调节组件上，所述角度调节组件的驱动端连接所述切膜刀，所述径向调节组件被配置为在切膜前对所述切膜刀的切膜半径进行调整，所述角度调节组件被配置为将所述切膜刀调整至预设切膜角度。

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