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龙图腾网恭喜中国科学院空天信息创新研究院申请的专利一种多层集成的柔性多模态传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116046073B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310157244.X，技术领域涉及：G01D21/02；该发明授权一种多层集成的柔性多模态传感器是由薛宁;刘铁柱;刘春秀;赵明;姚镭;庄澄宇;孙瑄;封红青;周军设计研发完成，并于2023-02-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多层集成的柔性多模态传感器在说明书摘要公布了：本发明涉及一种多层集成的柔性多模态传感器，属于生理信号检测技术领域；解决现有技术中的多模态传感器多采用平面式分布方式，存在面积大、集成度低的问题；本发明的传感器自下而上包括压力传感层、非暴露式传感层、暴露式传感层和柔性封装层；压力传感层包括第一柔性基底及设置于第一柔性基底上的压力传感器和对应的导联线；非暴露式传感层包括设置于压力传感层上的第二柔性基底及设置于第二柔性基底上的非暴露式传感器和对应的导联线；暴露式传感层包括设置于非暴露式传感层上的第三柔性基底及设置于第三柔性基底上的暴露式传感器和对应的导联线；柔性封装层覆盖于暴露式传感层上，且刻蚀掉暴露式传感器、神经电极和电刺激器正上方的区域。

本发明授权一种多层集成的柔性多模态传感器在权利要求书中公布了：1.一种多层集成的柔性多模态传感器，其特征在于，所述传感器自下而上包括压力传感层、非暴露式传感层、暴露式传感层和柔性封装层；所述压力传感层包括第一柔性基底，及设置于所述第一柔性基底上的压力传感器和所述压力传感器对应的导联线；所述非暴露式传感层包括设置于压力传感层上的第二柔性基底，及设置于第二柔性基底上的非暴露式传感器和与所述非暴露式传感器对应的导联线；所述暴露式传感层包括设置于非暴露式传感层上的第三柔性基底，及设置于第三柔性基底上的暴露式传感器和所述暴露式传感器对应的导联线；所述导联线设置为任意形状的弯曲图形；每一层的导联线在其所在层延伸至多模态传感器的接口处，在所述接口处的阶梯位置进行暴露处理；在所述第二柔性基底和第三柔性基底通过下述方法制备导联线：在所述第二柔性基底和第三柔性基底上沉积一层金属铬，金属铬的厚度小于15nm；在金属铬上采用光刻图形化工艺制备固态金属材料的导联线；或在金属铬上采用丝网印刷或喷墨打印工艺制备导电液体材料的导联线；所述导联线的厚度小于300nm；所述柔性封装层覆盖于所述暴露式传感层上，且刻蚀掉所述暴露式传感器、神经电极和电刺激器正上方的区域。

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