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龙图腾网恭喜南京航空航天大学;南京航空航天大学无锡研究院申请的专利一种耐火元素掺杂的耐磨梯度HfMSiCN陶瓷层及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116121700B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211740550.8，技术领域涉及：C23C14/06；该发明授权一种耐火元素掺杂的耐磨梯度HfMSiCN陶瓷层及其制备方法是由梁文萍;尹孟娟;缪强;于海洋;孙媛媛;徐健晏;贾飞龙设计研发完成，并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种耐火元素掺杂的耐磨梯度HfMSiCN陶瓷层及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种耐火元素掺杂的耐磨梯度HfMSiCN陶瓷层及其制备方法，属于Ti60合金表面改性技术领域，采用双层辉光等离子技术在Ti60试样表面制备出HfMSiCN梯度陶瓷层，所选择的耐火掺杂元素M分别为Ta、Zr、Nb、Ti，其种类对梯度HfMSiCN陶瓷层的高温耐磨性起到决定作用；以格栅状高纯Hf、Si、M、C为溅射靶材，靶材中每种元素的原子比为5~40%，氩气为工作气体，氮气为反应气体。HfMSiCN梯度陶瓷层包括沉积层、扩散层，其中扩散层与Ti60基体相连，能够提高涂层与基体之间的结合强度，提高基体的力学性能，降低高温摩擦系数，磨损率。

本发明授权一种耐火元素掺杂的耐磨梯度HfMSiCN陶瓷层及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种耐火元素掺杂的耐磨梯度HfMSiCN陶瓷层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：按要求将钛合金基体加工成合适尺寸，打磨抛光至镜面，清洗吹干备用；步骤2：去除双层辉光等离子炉内和靶材表层杂质和氧化膜，将处理后的靶材和基体放入双层辉光等离子炉，调节靶基距，采用格栅状高纯Hf、Si、M、C靶材，从左至右按照HfSiMC等距间隔排列；以基体为阴极，以靶材为源极，Ar作为工作气体，N2作为反应气体，所述M为Ta、Zr、Nb或Ti；步骤3：将双层辉光等离子炉内抽真空后，持续通入氩气进行清洗；步骤4：调节双层辉光等离子炉体内的气压至25Pa；起辉对双层辉光等离子炉内进行清洗和预热；步骤5：炉内气压控制在25Pa，源极电压为800-900V，工件电压为400-450V，通入反应氮气，通过变换HfMSiC格栅状靶材中M种类及含量来制备HfMSiCN陶瓷层，保温4-7h；步骤6：保温结束后，冷却至室温，得到表面制备有HfMSiCN梯度陶瓷层的Ti60合金。

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