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龙图腾网获悉常州大学申请的专利一种VCSEL半导体激光器阵列近场发光孔检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115452328B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211109300.4，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权一种VCSEL半导体激光器阵列近场发光孔检测装置及方法是由杨长春;张力维;孟天霜;王彭设计研发完成，并于2022-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种VCSEL半导体激光器阵列近场发光孔检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体激光器测试技术领域，提出了一种VCSEL半导体激光器阵列近场发光孔检测装置及方法，对VCSEL半导体激光器腔面光斑进行自动采集和识别，通过探针引脚和步进指令控制的晶圆托盘，实现自动的精确触发方式，相比传统的手动调节节省大量时间，自动化程度高，降低了由于人工操作带来的误差；基于MaskRCNN网络提取多张近场图像特征，对每张图像中各发光孔进行实例分割，使用不同型号的VCSEL半导体激光器数据集训练，提高了VCSEL半导体激光器近场各发光孔质量判断的准确性。

本发明授权一种VCSEL半导体激光器阵列近场发光孔检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种VCSEL半导体激光器阵列近场发光孔检测装置，其特征在于，该VCSEL半导体激光器阵列近场发光孔检测装置包括晶圆托盘1、光源相机4、探针轴装置6、处理器、存储器、工控机和调节支架5；晶圆托盘1通过步进电机固定于底座上；底座上设有门型框架；门型框架顶部设置为滑道，调节支架5底部于滑道上移动；光源相机4固定于调节支架5侧端，位于晶圆托盘1上方；探针轴装置6包括坐标转换单元和旋转单元，用于实现VCSEL半导体激光器和探针引脚2的位置匹配；探针轴装置6一端固定于门型框架上，其位于晶圆托盘1的上方，探针轴装置6另一端通过探针连接杆3连接探针引脚2，探针引脚2与待测VCSEL半导体激光器接触；处理器、存储器、工控机并排放置于晶圆托盘1下方，处理器和存储器通过总线进行数据传输，处理器完成数据处理后通过信号传输线与工控机连接，工控机通过信号传输线连接至调节支架5；处理器内存储有已训练的基于Mask-RCNN网络的实例分割模型；存储器用于存储近场发光孔的样本数据和相关配置文件；工控机用于控制光源相机4的高度，调节支架5的移动和探针连接杆3的转动。

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