买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中国科学院空间应用工程与技术中心申请的专利面向空间制造用的电子束枪小型化引出结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115295376B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210999141.3，技术领域涉及：H01J3/02；该发明授权面向空间制造用的电子束枪小型化引出结构是由李亮;刘亦飞;王功;刘兵山设计研发完成，并于2022-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本面向空间制造用的电子束枪小型化引出结构在说明书摘要公布了：本发明提供一种面向空间制造用的电子束枪小型化引出结构，包括：ECR等离子体源、电子束引出模块和电子光学模块；按自上向下方向，依次同轴设置ECR等离子体源、电子束引出模块和电子光学模块；ECR等离子体源，用于产生等离子体；电子束引出模块，用于从等离子体中引出电子，形成电子束，并对电子束实现加速和聚束；电子光学模块，用于调节控制电子束引出模块输出的电子束的束斑大小和位置。本发明提供一种面向空间制造用的电子束枪小型化引出结构，通过电极的调控稳定的引出电子以及配合电子光学模块，最终聚束成满足加工要求的束斑，本发明可以获得稳定的电子束流和高精度的电子束斑，最终满足在轨制造的需求。

本发明授权面向空间制造用的电子束枪小型化引出结构在权利要求书中公布了：1.一种面向空间制造用的电子束枪小型化引出结构，其特征在于，包括：ECR等离子体源（1）、电子束引出模块（2）和电子光学模块（3）；按自上向下方向，依次同轴设置所述ECR等离子体源（1）、所述电子束引出模块（2）和所述电子光学模块（3）；所述ECR等离子体源（1），用于产生等离子体；所述电子束引出模块（2），用于从所述等离子体中引出电子，形成电子束，并对所述电子束实现加速和聚束；所述电子光学模块（3），用于调节控制所述电子束引出模块（2）输出的电子束的束斑大小和位置；其中，所述电子束引出模块（2），包括依次同轴设置的高压电极（21）、第二电极（22）和地电极（23）；其中：所述高压电极（21），加载电压为负高压；所述第二电极（22），加载电压为负高压，所加载电压的绝对值，位于所述高压电极（21）加载电压的绝对值和地电极（23）之间，相比于所述高压电极（21）加载的负高压，所述第二电极（22）处于正电位；所述地电极（23）的电位为大地，相比于所述高压电极（21）和所述第二电极（22）加载的负高压，所述地电极（23）处于正电位；因此，所述高压电极（21）和所述第二电极（22）之间，形成第一电场，电场方向由第二电极（22）指向高压电极（21），电场结构为近锥形；所述地电极（23）和所述第二电极（22）之间形成第二电场，电场方向由地电极（23）指向第二电极（22），电场结构为近锥形；所述高压电极（21）的中心开设与所述ECR等离子体源（1）连通的引出孔（21A）；所述第二电极（22）的中心开设第二电极通过孔（22A）；所述地电极（23）的中心开设地电极通过孔（23A）；所述引出孔（21A）、所述第二电极通过孔（22A）和所述地电极通过孔（23A）同轴设置；所述ECR等离子体源（1）产生的电子和离子向下运动到达引出孔（21A）的上方时，通过第一电场的作用，阻隔离子通过，仅使电子通过引出孔（21A），实现电子引出功能；从引出孔（21A）穿过的电子，首先在第一电场的作用下加速，并穿过第二电极通过孔（22A）；从第二电极通过孔（22A）穿过的电子，首先在第二电场的作用下加速，并穿过地电极通过孔（23A）；依次从引出孔（21A）、第二电极通过孔（22A）和地电极通过孔（23A）穿过的电子在第一电场和第二电场共同组成的静电透镜的作用下，实现一次聚束的作用；其中：所述电子光学模块（3），包括依次设置的一级聚焦透镜（31）、二级聚焦透镜（32）和偏转线圈（33）；所述电子束引出模块（2）引出的电子束，投射到所述一级聚焦透镜（31），经所述一级聚焦透镜（31）透射后，聚焦于焦点位置；再从所述焦点位置投射到所述二级聚焦透镜（32），经所述二级聚焦透镜（32）透射后，聚焦于偏转线圈（33）的中心，经所述偏转线圈（33）调节电子束角度后，投射到工作台的目标位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院空间应用工程与技术中心，其通讯地址为：100094 北京市海淀区邓庄南路9号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。