恭喜华海清科股份有限公司曹自立获国家专利权
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龙图腾网恭喜华海清科股份有限公司申请的专利一种晶圆旋转机构和晶圆处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115881584B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210874101.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆旋转机构和晶圆处理装置是由曹自立;李长坤设计研发完成，并于2022-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆旋转机构和晶圆处理装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆旋转机构和晶圆处理装置，该机构包括主动轮组件和从动轮组件；所述主动轮组件包括前压盖、后压盖和驱动轮，所述前压盖和后压盖配合将驱动轮夹紧在二者之间，所述驱动轮的侧边缘具有环形卡槽，所述环形卡槽用于抵接晶圆并带动晶圆旋转，所述环形卡槽由弹性材料制成，所述环形卡槽包括两个相对的用于限位晶圆的侧壁，所述侧壁的内侧具有倾斜的引导面。
本发明授权一种晶圆旋转机构和晶圆处理装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆旋转机构，其特征在于，用于支撑晶圆并驱动晶圆旋转，该机构包括主动轮组件和从动轮组件；所述主动轮组件包括前压盖、后压盖和驱动轮，所述前压盖和后压盖配合将驱动轮夹紧在二者之间，所述驱动轮的侧边缘具有环形卡槽，所述环形卡槽用于抵接晶圆并带动晶圆旋转，所述环形卡槽由弹性材料制成，所述环形卡槽包括两个相对的用于限位晶圆的侧壁，所述侧壁的内侧具有倾斜的引导面，使得晶圆在与所述主动轮组件接触过程中减少磨损；所述环形卡槽的底面设有凹凸结构，所述侧壁具有排水槽，所述凹凸结构与所述排水槽连通，所述前压盖和后压盖设有与排水槽位置对应的排水口，使得污染物经凹凸结构、排水槽和排水口排出。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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