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龙图腾网恭喜中国科学院电工研究所申请的专利一种多束电子束束斑的测量装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115206756B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210842745.7，技术领域涉及：H01J37/244；该发明授权一种多束电子束束斑的测量装置及方法是由张利新;王岩;赵伟霞;刘俊标;殷伯华;王鹏飞;韩立设计研发完成，并于2022-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多束电子束束斑的测量装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及多束电子束束斑测量技术领域，提供了一种多束电子束束斑的测量装置及方法，该装置包括真空腔室以及形成于真空腔室内的多束电子束，至少包括：刀口件，可移动的设置在真空腔室内，且位于多束电子束的照射路径上，刀口件上具有适于电子束通过的刀口，刀口件能够在移动过程中对多束电子束中的至少部分电子束进行遮挡；电子束收集结构，位于真空腔室内，且位于刀口件的下游，适于收集从刀口射出的电子束，并将其转化为电信号；数据处理模块，与电子束收集结构信号连接，适于接收电信号，并根据电信号获取各个电子束的束斑分布与束斑大小。该测量装置，可以获取各个电子束的束斑分布与束斑大小，满足观察和测量的需求。

本发明授权一种多束电子束束斑的测量装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种多束电子束束斑的测量装置，包括真空腔室以及形成于真空腔室内的多束电子束，其特征在于，至少包括：刀口件，可移动的设置在所述真空腔室内，且位于多束电子束的照射路径上，所述刀口件上具有适于电子束通过的刀口，所述刀口件能够在移动过程中对多束电子束中的至少部分电子束进行遮挡；电子束收集结构，位于所述真空腔室内，且位于所述刀口件的下游，适于收集从所述刀口射出的电子束，并将其转化为电信号；数据处理模块，与所述电子束收集结构信号连接，适于接收所述电信号，并根据所述电信号计算获得各个电子束的束斑分布与束斑大小；还包括设置在所述真空腔室内的电子枪组件与分束结构；所述电子枪组件包括沿电子束的照射方向依次设置的平面型阴极、栅极、阳极和第一静电透镜，所述第一静电透镜用于将所述平面型阴极发射的电子束进行准直，使电子束平行于光轴出射；所述分束结构设置在所述电子枪组件的下游，适于将经过的电子束分成多束电子束；所述刀口件位于所述分束结构的下游；还包括套筒结构与电子束成像结构；所述套筒结构的一端伸入所述真空腔室内，且位于所述分束结构的下游，适于将分束后的多束电子束转化为多束光束；所述电子束成像结构的输入端插入所述套筒结构内，所述电子束成像结构的输出端适于将所述多束光束转化成肉眼可见的光斑。

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