恭喜广东省科学院半导体研究所凌云志获国家专利权
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龙图腾网恭喜广东省科学院半导体研究所申请的专利一种零压阻系数可拉伸柔性电子器件的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115274182B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210823428.0,技术领域涉及:H01B5/14;该发明授权一种零压阻系数可拉伸柔性电子器件的制备方法是由凌云志;刘星宇;马建国;毕宇浩;胡川;陈志涛设计研发完成,并于2022-07-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种零压阻系数可拉伸柔性电子器件的制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉公开了一种零压阻系数可拉伸柔性电子器件的制备方法,其首先在临时载板上设计导电模块单元的图案,曝光显影后得到需要生长导电模块单元的区域,之后在临时载板表面对纳米材料的生长位点进行图案化处理,将临时载板表面的光刻胶洗去后,即可在设计好的导电模块单元图案上生长垂直金纳米线,之后通过毛细作用力使类多米诺骨牌导电模块单元定向有序组装,导电模块单元倒塌后部分重叠,形成导电网络,将有序倒塌的导电多米诺骨牌网络转移至可拉伸基底,构成可以在受到外力拉伸时保持稳定的电阻率的微纳结构,从而制备零压阻系数柔性电子传感器,解决可拉伸柔性电子器件在受到外力拉伸时电阻率变化导致的信号干扰问题。
本发明授权一种零压阻系数可拉伸柔性电子器件的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种零压阻系数可拉伸柔性电子器件的制备方法,其特征在于包括以下步骤:一、在临时载板上设置数个等距排列的金纳米线生长位点,在生长位点上生长金纳米线,形成金纳米线骨牌模块单元;二、在临时载板上将金纳米线骨牌模块单元以多米诺骨牌形式定向顺序地倒塌,从而相互搭接形成导电网络;三、将导电网络转移至可拉伸基底,在可拉伸基底的两端附近设置固定电极片分别连接导电网络的两端;在所述步骤一中,在临时载板上旋涂光刻胶,通过曝光显影在光刻胶中蚀刻设置出数个等距排列的导电模块单元区域,在每个导电模块单元区域中于临时载板上设置金种子,形成金纳米线生长位点,然后将临时载板上剩余的光刻胶洗去,以金种子为催化剂,浸泡纳米金生长溶液,生长垂直的金纳米线骨牌模块单元;在所述步骤二中,将临时载板连同金纳米线骨牌模块单元浸泡乙醇和水的混合溶液,静置一段时间后取出并干燥,利用毛细作用力或定向风吹使金纳米线骨牌模块单元定向顺序组装,形成顺序倒塌、相互搭接的导电网络。
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