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龙图腾网恭喜上海轩田智能科技股份有限公司申请的专利工艺腔体Recipe管理系统及半导体设备控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115082253B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210658534.8，技术领域涉及：G06Q50/04；该发明授权工艺腔体Recipe管理系统及半导体设备控制方法是由陈远明;李钰;皮言午设计研发完成，并于2022-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本工艺腔体Recipe管理系统及半导体设备控制方法在说明书摘要公布了：本申请公开了工艺腔体Recipe管理系统及半导体设备控制方法，半导体设备控制方法包括：将每个Recipe的Chamber信息保存在工艺腔体Recipe管理系统中；用户在工艺腔体Recipe管理系统中对设备模组、设备类型、机台Recipe以及Chamber进行编辑；EAP获取MES中的Recipe并与工艺腔体Recipe管理系统中编辑过的Recipe取交集；EAP从机台中获取Recipe列表，并判断取完交集后的Recipe是否存在于Recipe列表中，若存在，允许机台生产，否则机台停止生产。本申请安全且方便地实现了对RecipeChamber的管控，提升了产线的管理效率。

本发明授权工艺腔体Recipe管理系统及半导体设备控制方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备控制方法，其特征在于，包括：在用户终端安装工艺腔体Recipe管理系统，所述工艺腔体Recipe管理系统包括：设备模组管理模块，用于对Recipe所需的模组进行编辑，包括新增模组、修改模组和删除模组；设备类型管理模块，用于自定义编辑机台的设备类型，每个设备类型与其所属的模组相关联；设备信息管理模块，用于自定义编辑机台信息，包括机台对应的设备类型，机台所包括的Chamber；机台主界面信息管理模块，用于针对于每一个机台的每一个Recipe进行Chamber编辑，选择可用的Chamber；结合设备类型及产品工艺，将每个机台的每个Recipe的Chamber信息保存在所述工艺腔体Recipe管理系统中；用户在工艺腔体Recipe管理系统中编辑设备模组信息、设备类型信息、机台Recipe以及Chamber信息；EAP在进行Recipe校验时，获取MES中的Recipe，并与所述工艺腔体Recipe管理系统中编辑过的Recipe取交集；EAP从机台中获取Recipe列表，并判断取完交集后所得到的Recipe是否存在于所述Recipe列表中，如果存在，则允许机台按照取完交集后所得到的Recipe进行生产，否则，机台停止生产。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海轩田智能科技股份有限公司，其通讯地址为：201109 上海市闵行区瓶安路1259号2幢3层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。