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龙图腾网恭喜中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请的专利一种多种气体检测芯片及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114923877B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210540633.6，技术领域涉及：G01N21/41；该发明授权一种多种气体检测芯片及其制备方法是由邓诗凯;涂敏设计研发完成，并于2022-05-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多种气体检测芯片及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及气体检测元件领域，本发明公开了一种多种气体检测芯片及其制备方法，该多种气体检测芯片，其包括基底层、阵列层和覆盖层；阵列层设置在基底层上，阵列层由多个金属纳米颗粒按预设排布规则排布构成；覆盖层设置在阵列层上；覆盖层包括多层第一覆盖层，多层第一覆盖层分别覆盖阵列层的不同区域，多层第一覆盖层完全覆盖阵列层。如此，得到的多种气体检测芯片具有选择性高、检测灵敏度高、体积小、易集成化，并且能够对多种气体同时快速检测的优点。

本发明授权一种多种气体检测芯片及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种多种气体检测芯片的制备方法，其特征在于，所述方法包括：确定阵列层2中多个金属纳米颗粒21的预设排布规则、大小和形状；基于所述多个金属纳米颗粒21的预设排布规则、大小和形状，在基底层1上形成光刻胶阵列110；基于所述光刻胶阵列110在所述基底层1上形成金属薄膜120；基于所述金属薄膜120在所述基底层1上形成所述阵列层2；将所述金属薄膜120从所述基底层1上剥离；将所述阵列层2划分为大小相同的多个区域，基于所述多个区域确定孔掩膜版300中孔的排布、大小和形状；基于所述孔掩膜版300，采用不同的制备原料，在所述多个区域上形成完全覆盖所述多个区域的覆盖层3，得到初始检测阵列4；所述在所述多个区域上形成完全覆盖所述多个区域的覆盖层3的方法为喷涂沉积；所述覆盖层3为金属有机框架；所述覆盖层3包括多层第一覆盖层31；所述多层第一覆盖层31分别覆盖所述多个区域中的不同区域；将所述初始检测阵列4划片，得到至少一个多种气体检测芯片5；每个所述多种气体检测芯片5均包括所述多层第一覆盖层31；其中，所述基于所述孔掩膜版300，采用不同的制备原料，在所述多个区域上形成完全覆盖所述多个区域的覆盖层3，得到初始检测阵列4，包括：将所述孔掩膜版300上的孔与所述多个区域中其中一个区域对应；基于所述孔掩膜版300，将所述制备原料喷涂在所述阵列层2上，形成一层第一覆盖层31；移动所述孔掩膜版300，至所述孔掩膜版300上的孔与所述多个区域中未形成第一覆盖层31的其中一个区域对应；更换所述制备原料；基于移动后的所述孔掩膜版300，将更换后的所述制备原料喷涂在所述阵列层2上，形成一层第一覆盖层31；重复步骤：移动所述孔掩膜版300，至所述孔掩膜版300上的孔与所述多个区域中未形成第一覆盖层31的其中一个区域对应；更换所述制备原料；基于移动后的所述孔掩膜版300，将更换后的所述制备原料喷涂在所述阵列层2上，形成一层第一覆盖层31；直到所述多个区域上均形成一层第一覆盖层31，得到所述初始检测阵列4。

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