买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜浙江富芯微电子科技有限公司申请的专利双面刷洗机和碳化硅晶片表面的清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114937618B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210429472.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权双面刷洗机和碳化硅晶片表面的清洗方法是由林骞;余雅俊;占俊杰;徐良;刘建哲;夏建白设计研发完成，并于2022-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本双面刷洗机和碳化硅晶片表面的清洗方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种双面刷洗机，该双面刷洗机包括接收结构，其设置在第一毛刷和第二毛刷之间的居中位置的下方，用于接收碳化硅晶片，该接收结构可以借助其下方的升降结构上下移动，能够将清洗后的碳化硅晶片重新推回清洗区，实现碳化硅晶片的自动重复清洗，从而实现碳化硅晶片表面的高洁净度。本发明还涉及一种碳化硅晶片表面的清洗方法，该方法通过超声波清洗和双面毛刷清洗两道清洗工艺，达到了高洁净度的晶片表面洁净度要求。

本发明授权双面刷洗机和碳化硅晶片表面的清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种双面刷洗机，其特征在于，包括：第一毛刷和第二毛刷，所述第一毛刷和所述第二毛刷平行设置，并且与待清洗的碳化硅晶片的表面平行设置，所述第一毛刷能够与碳化硅晶片的一个表面接触并清洗该表面，所述第二毛刷能够与所述碳化硅晶片的另一表面接触并清洗该表面；接收结构，所述接收结构设置在所述第一毛刷和所述第二毛刷之间的居中位置的下方，并且所述接收结构的正中间设置有槽缝，所述槽缝用于接收所述碳化硅晶片；所述接收结构为橡胶材质；感应器，所述感应器设置在所述接收结构内部，用于感应所述碳化硅晶片进入所述槽缝内的深度；吸附结构，用于吸附碳化硅晶片；升降结构，所述升降结构设置在所述接收结构的底部；以及控制系统，所述控制系统分别与所述感应器和所述升降结构连接，用于接收感应器传输的信号并控制所述升降结构的升降；在清洗过程中，碳化硅晶片夹在第一毛刷和第二毛刷的正中间，通过与第一毛刷和第二毛刷之间的摩擦力，碳化硅晶片在被第一毛刷和第二毛刷刷洗的同时匀速向下移动，直至碰到接收结构，之后，碳化硅晶片向下继续移动并进入槽缝内，当感应器感应到碳化硅晶片进入槽缝内的深度达到预设值时，感应器将信号反馈给控制系统，控制系统传输信号至升降结构，并控制升降结构缓慢匀速地向上推动接收结构至设定好的一定高度，该高度恰能使碳化硅晶片重新回到即将开始进行清洗时所处的位置，使碳化硅晶片顶端重新被吸附结构吸附，从而重新开始新一轮的双面毛刷清洗工序。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江富芯微电子科技有限公司，其通讯地址为：321000 浙江省金华市婺城区秋滨街道南二环西路2688号3#厂房(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。