恭喜浙江大学嘉兴研究院;浙江大学管小伟获国家专利权
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龙图腾网恭喜浙江大学嘉兴研究院;浙江大学申请的专利基于复合材料狭缝波导的片上无温漂微环谐振腔光传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114813573B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210161722.X,技术领域涉及:G01N21/17;该发明授权基于复合材料狭缝波导的片上无温漂微环谐振腔光传感器是由管小伟;戴道锌设计研发完成,并于2022-02-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于复合材料狭缝波导的片上无温漂微环谐振腔光传感器在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于复合材料狭缝波导的片上无温漂微环谐振腔光传感器。包括基于复合材料狭缝波导的微环谐振腔、与微环谐振腔相互耦合的直波导,所述的微环谐振腔分为由正热光系数材料构成的第一环形波导和由负热光系数材料构成的第二环形波导;第一环形波导和第二环形波导同心布置,且之间具有环形的狭缝。本发明充分利用了基于狭缝波导的光传感器高灵敏度的优点,又基于无温漂复合材料结构解决了传统片上环形谐振腔高温漂的缺点,即没有温漂而只对所覆盖的分析物敏感,同时具有加工简单、结构紧凑的特点,能满足片上光传感器的实际需求。
本发明授权基于复合材料狭缝波导的片上无温漂微环谐振腔光传感器在权利要求书中公布了:1.一种基于复合材料狭缝波导的无温漂片上光传感器,其特征在于:包括基于复合材料狭缝波导的微环谐振腔II、与微环谐振腔II相互耦合的直波导I,所述的微环谐振腔II分为由正热光系数材料构成的第一环形波导1和由负热光系数材料构成的第二环形波导2;所述的第一环形波导1和第二环形波导2同心布置,且之间具有环形的狭缝;所述的直波导I采用与第一环形波导1的正热光系数材料相同的材料,均为富硅氮化硅;所述负热光系数材料为二氧化钛。
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