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恭喜上海华力集成电路制造有限公司庚润获国家专利权

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龙图腾网恭喜上海华力集成电路制造有限公司申请的专利一种GGNMOS结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114497031B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210097232.8,技术领域涉及:H10D89/60;该发明授权一种GGNMOS结构是由庚润;田志;刘涛;姬峰设计研发完成,并于2022-01-27向国家知识产权局提交的专利申请。

一种GGNMOS结构在说明书摘要公布了:本发明提供一种GGNMOS结构,位于P型衬底区的第一高压P阱;第一高压P阱内的第一N阱;第一N型漂移区;第一N型重掺杂区;第一高压P阱两侧设有第二N阱;其中一个第二N阱上设有第二N型重掺杂区;第二N阱一侧设有P阱;P阱上设有第一P型重掺杂区;P阱一侧设有第二高压P阱;第二高压P阱内设有第二N型漂移区和P型漂移区;第二N型漂移区上设有第三N型重掺杂区;P型漂移区上设有第二P型重掺杂区;第二N型漂移区与P阱之间的第二高压P阱上设有栅极结构;本发明的N阱的掺杂浓度高于N型漂移区,有效的将雪崩击穿点由N型漂移区、高压P阱转移到了N阱与高压P阱,有效降低了触发电压。不显著增加面积的前提下,有效提高了触发均匀性。

本发明授权一种GGNMOS结构在权利要求书中公布了:1.一种GGNMOS结构,其特征在于,至少包括:P型衬底;位于所述P型衬底区域的第一高压P阱;形成于所述第一高压P阱内的第一N阱;形成于所述第一N阱上的第一N型漂移区;形成于所述第一N型漂移区上的第一N型重掺杂区;所述第一高压P阱两侧分别设有第二N阱;其中一个所述第二N阱上设有第二N型重掺杂区;所述第二N阱远离所述第一高压P阱的一侧分别设有P阱;所述P阱上设有第一P型重掺杂区;所述P阱远离所述第二N阱的一侧分别设有第二高压P阱;所述第二高压P阱内设有第二N型漂移区和P型漂移区;所述第二N型漂移区上设有第三N型重掺杂区;所述P型漂移区上设有第二P型重掺杂区;所述第二N型漂移区与所述P阱之间的所述第二高压P阱上表面设有栅极结构;所述P型漂移区与所述第二N型漂移区之间设有STI区、所述第二N型漂移区与所述栅极结构之间的所述第二高压P阱内设有STI区、所述第二高压P阱与所述P阱之间设有STI区;所述P阱与所述第二N阱之间设有STI区;所述第二N阱与所述第一高压P阱之间设有STI区。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海华力集成电路制造有限公司,其通讯地址为:201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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