恭喜科磊股份有限公司姜辛容获国家专利权
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龙图腾网恭喜科磊股份有限公司申请的专利具有双孔径方案的高分辨率电子束设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116686061B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280008715.4，技术领域涉及：H01J37/147；该发明授权具有双孔径方案的高分辨率电子束设备是由姜辛容;C·西尔斯;N·朱邦;L·葛瑞拉设计研发完成，并于2022-01-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有双孔径方案的高分辨率电子束设备在说明书摘要公布了：一种电子源发射电子束。所述电子束由限束组合件接收。所述限束组合件具有具备第一直径的第一限束孔径及具备大于所述第一直径的第二直径的第二限束孔径。所述第一限束孔径接收所述电子束。此限束组合件减少库伦相互作用的影响。
本发明授权具有双孔径方案的高分辨率电子束设备在权利要求书中公布了：1.一种系统，其包括：电子源，其经配置以发射电子束；抑制电极，其经安置成接近所述电子源；提取电极，其经安置成接近所述电子源；限束组合件，其界定具有第一直径的第一限束孔径、具有第二直径的第二限束孔径及介于所述第一限束孔径与所述第二限束孔径之间的通道，其中所述通道具有大于所述第一限束孔径的所述第一直径及所述第二限束孔径的所述第二直径的第三直径，其中所述限束组合件经定位以在所述第一限束孔径中接收所述电子束，其中所述第一直径是所述第二直径的1.5到5.0倍，其中所述限束组合件进一步包含在所述第一限束孔径与所述通道之间的过渡区域，其中所述过渡区域具有从所述第一直径增加到所述第三直径的直径；及至少一个极片，其经安置成邻近所述限束组合件。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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