恭喜合肥御微半导体技术有限公司孙良峰获国家专利权
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龙图腾网恭喜合肥御微半导体技术有限公司申请的专利一种硅片背检设备和背检方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114527142B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210071123.9，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种硅片背检设备和背检方法是由孙良峰;沈锦华设计研发完成，并于2022-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片背检设备和背检方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种硅片背检设备和背检方法，该设备中螺旋导轨座上设置有自中心向边缘螺旋排布的第一凹槽，连杆的一端通过旋转轴连接在螺旋导轨座的中心，连杆的另一端绕螺旋导轨座的中心做圆周运动，滑块套设于在连杆上，滑块邻近第一凹槽的一侧设置有第一滚轮，远离第一凹槽的一侧布置有视觉检测装置，所述第一滚轮至少部分设置于所述第一凹槽内；驱动装置，驱动装置与旋转轴连接，用于驱动连杆旋转，以带动第一滚轮沿第一凹槽移动，同时带动滑块在连杆上滑动，使得视觉检测装置的移动轨迹为螺旋轨迹；承载台，用于承载待测硅片，待测硅片背向视觉检测装置的视场方向，从而，在简化螺旋扫描设备结构的基础上同时还可以保证检测精度。
本发明授权一种硅片背检设备和背检方法在权利要求书中公布了：1.一种硅片背检设备，其特征在于，包括：螺旋导轨座、连杆和滑块；所述螺旋导轨座上设置有自中心向边缘螺旋排布的第一凹槽，所述连杆的一端通过旋转轴连接在所述螺旋导轨座的中心，所述连杆的另一端绕所述螺旋导轨座的中心做圆周运动，所述滑块套设于所述连杆上，所述滑块邻近所述第一凹槽的一侧设置有第一滚轮，远离所述第一凹槽的一侧布置有视觉检测装置，所述第一滚轮至少部分设置于所述第一凹槽内；驱动装置，所述驱动装置与所述旋转轴连接，用于驱动所述连杆旋转，以带动所述第一滚轮沿所述第一凹槽移动，同时带动所述滑块在所述连杆上滑动，使得所述视觉检测装置的移动轨迹为螺旋轨迹；承载台，用于承载待测硅片，所述待测硅片面向所述视觉检测装置的视场方向。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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