上海高笙集成电路设备有限公司崔汉博获国家专利权
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龙图腾网获悉上海高笙集成电路设备有限公司申请的专利一种半导体废气处理设备新型循环水涡旋冷却腔体获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114152109B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111675073.7，技术领域涉及：F28C3/06；该发明授权一种半导体废气处理设备新型循环水涡旋冷却腔体是由崔汉博;崔汉宽设计研发完成，并于2021-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体废气处理设备新型循环水涡旋冷却腔体在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体废气处理设备新型循环水涡旋冷却腔体,所述装置本体包括第一冷却腔体、第二冷却腔体、涡旋水入口、废气进口和铭牌，所述第一冷却腔体位于装置本体底部，所述第二冷却腔体后端通过螺丝安装在第一冷却腔体前端，所述涡旋水入口设有一组，一组所述涡旋水入口呈对称方式安装在第二冷却腔体表面，所述废气进口设有一组，一组所述废气进口呈对称方式安装在第一冷却腔体表面，该种半导体废气处理设备新型循环水涡旋冷却腔体通过提高冷却腔体的长度，从而可以提高腔体内对废气处理的效率，且还可以提高腔体对废气处理的量，进一步提高了工作人员的工作效率。
本发明授权一种半导体废气处理设备新型循环水涡旋冷却腔体在权利要求书中公布了：1.一种半导体废气处理设备新型循环水涡旋冷却腔体,其特征在于：包括装置本体1，所述装置本体1包括第一冷却腔体2、第二冷却腔体3、涡旋水入口4、废气进口5和铭牌6，所述第一冷却腔体2位于装置本体1底部，所述第二冷却腔体3后端通过螺丝安装在第一冷却腔体2前端，所述涡旋水入口4设有一组，一组所述涡旋水入口4呈对称方式安装在第二冷却腔体3表面，所述废气进口5设有一组，一组所述废气进口5呈对称方式安装在第一冷却腔体2表面；所述第一冷却腔体2和第二冷却腔体3前后两端均设有连接外环8，所述连接外环8呈掏空圆形状，所述连接外环8表面开设有若干组连接螺孔9；所述第一冷却腔体2内部为中空式结构，且第一冷却腔体2内部设有内部腔体10，所述内部腔体10为中空式结构，且内部腔体10表面前后两端均设有若干螺纹11。
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