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龙图腾网恭喜天津海嘉斯迪新材料合伙企业(有限合伙)申请的专利一种制备高纯氟气的精制纯化设备和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114198981B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111668690.4，技术领域涉及：F25J3/02；该发明授权一种制备高纯氟气的精制纯化设备和方法是由王兆敏设计研发完成，并于2021-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种制备高纯氟气的精制纯化设备和方法在说明书摘要公布了：本发明涉及电解制氟技术领域，提供了一种制备高纯氟气的精制纯化设备和方法。本发明提供的设备包括制氟电解槽、除渣装置、低压罐、HF低温冷凝系统、氟气压缩机、氟气预冷器和氟气精馏塔；氟气精馏塔的塔顶设置有塔顶冷凝器，塔釜设置有塔釜再沸器，塔顶冷凝器的出口与氟气储罐连通，塔釜再沸器的出口与氢氟酸回收装置连通；HF低温冷凝系统包括若干个串联的HF低温冷凝器，且HF低温冷凝器底部设置有HF液体出口，所述HF液体出口与HF回收装置连通。本发明提供的设备能够采用冷凝+精馏的模式对粗品氟气进行提纯，纯化效率高，且设备结构简单，适合工业化、连续化生产，所得氟气的纯度可以达到4N以上，能够满足半导体行业的使用要求。

本发明授权一种制备高纯氟气的精制纯化设备和方法在权利要求书中公布了：1.一种制备高纯氟气的方法，其特征在于，所述制备高纯氟气采用的精制纯化设备包括：制氟电解槽1；所述制氟电解槽1设置有阳极出口和阴极出口；入口与所述制氟电解槽1的阳极出口连通的除渣装置2；所述除渣装置2用于去除粗品氟气中的固体或液体电解质；所述除渣装置2的材质为低碳钢、不锈钢、镍或蒙乃尔；入口与所述除渣装置2的出口连通的低压罐3，所述低压罐3设置有氮气自动补压装置；HF低温冷凝系统，所述HF低温冷凝系统包括若干个串联的HF低温冷凝器4；所述HF低温冷凝系统的第一台HF低温冷凝器4的气体入口与所述低压罐3的出口连通；所述HF低温冷凝器4底部设置有HF液体出口，所述HF液体出口与HF回收装置11连通；入口与所述HF低温冷凝系统的最后一台HF低温冷凝器4的气体出口连通的氟气压缩机5；所述氟气压缩机5与所述氮气自动补压装置联动；入口与所述氟气压缩机5的出口连通的氟气预冷器6；入口与所述氟气预冷器6的出口连通的氟气精馏塔7；所述氟气精馏塔7的塔顶设置有塔顶冷凝器8，塔釜设置有塔釜再沸器9；入口与所述塔顶冷凝器8的出口连通的氟气储罐10；入口与所述塔釜再沸器9的出口连通的氢氟酸回收装置12；所述制备高纯氟气的方法包括以下步骤：在制氟电解槽1内进行电解制氟，阳极产生粗品氟气；所述粗品氟气在除渣装置2中除渣，除渣后的粗品氟气进入低压罐3中，所述低压罐3的氮气补压装置与氟气压缩机5联动，将低压罐3的压力控制在-2000~-500Pa；所述除渣后的粗品氟气自低压罐3进入HF低温冷凝器4中，HF发生冷凝，自HF液体出口进入HF回收装置11中，剩余气体为初步纯化的氟气；所述初步纯化的氟气进入氟气压缩机5中进行增压，增压后的氟气进入氟气预冷器6中进行预冷，之后进入氟气精馏塔7中进行精馏，精馏过程中，重组分在塔釜富集并排入氢氟酸回收装置12中，高纯氟气作为轻组分从塔顶冷凝器8引入氟气储罐10中；所述HF低温冷凝器4的操作温度为-80~-65℃，操作压力为-2000~-500Pa；所述初步纯化的氟气在氟气压缩机5中增压至1.5~3.5MPa；所述氟气精馏塔7的压力为1.5~3.5MPa；所述精馏过程中塔顶冷凝器8的温度为-170~-165℃。

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