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龙图腾网恭喜华东光电集成器件研究所申请的专利一种异构集成的芯片级光谱调谐微系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114132888B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111479241.5，技术领域涉及：B81B7/02；该发明授权一种异构集成的芯片级光谱调谐微系统是由王鹏;王文婧;包星晨;曾鸣鸣;何凯旋设计研发完成，并于2021-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种异构集成的芯片级光谱调谐微系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种异构集成的芯片级光谱调谐微系统，包括：固定滤光结构层，在SOI硅片顶层硅上制作驱动电极（13）、驱动检测电极（12）、下支撑柱（14）、信号输入端（18），在信号输入端上设有导电键合层（16）；可动滤光结构层光刻可动结构（22）、上支撑柱（23），将上支撑柱、下支撑柱键合连接，由上述固定滤光结构和可动滤光结构构成法布里珀罗干涉腔；盖帽层（30）设有垂直导电柱（31）、导电金属（35）和PAD点（33）；驱动电路芯片（40）联于PAD点（41）。本发明有益效果：将静电驱动电极与复合光学薄膜结构结合于一体，提高了光学占空比，增加了驱动力，提高了滤光系统运行精度及稳定性。

本发明授权一种异构集成的芯片级光谱调谐微系统在权利要求书中公布了：1.一种异构集成的芯片级光谱调谐微系统，其特征在于：从下至上依次由：固定滤光结构层、可动滤光结构层、盖帽层以及ASIC驱动电路构成，所述固定滤光结构层采用SOI硅片制备，在SOI硅片的顶层硅上光刻制作图形化的驱动电极（13）、驱动检测电极（12）、下支撑柱（14）、信号输入端（18）至埋氧层（17），在驱动电极（13）和驱动检测电极（12）上均制备有高反射复合薄膜（15），在信号输入端（18）上设有导电键合层（16），驱动电极（13）和驱动检测电极（12）分别通过顶层硅互联线与对应的信号输入端（18）连接；所述的可动滤光结构层采用SOI硅片制备，包括经光刻工艺制作的图形化的与驱动电极（13）和驱动检测电极（12）对应的可动结构（22）和与下支撑柱（14）对应的上支撑柱（23），在可动滤光结构下面制备有高反射复合薄膜（21），将上支撑柱（23）与下支撑柱（14）经晶圆级键合对应键合连接，驱动电极（13）和上面高反射复合薄膜（15）形成法布里珀罗腔的固定滤光结构，可动结构（22）与下面高反射复合薄膜（21）形成法布里珀罗腔的可动滤光结构，由上述固定滤光结构和可动滤光结构共同构成法布里珀罗干涉腔；所述盖帽层（30）采用双抛硅片制备，盖帽层中部背面设有与可动滤光结构层配合的空腔（34），盖帽层周边设有与信号输入端（18）相对应的垂直导电柱（31），垂直导电柱外周设有绝缘的介质隔离层（32），垂直导电柱的内端设有导电金属（35）、外端设有PAD点（33），盖帽层空腔（34）底面以及与该底面对应的外面分别制有增透复合膜（36）；将制备完成的盖帽层经晶圆级对准键合在可动滤光结构层上方，其中，垂直导电柱（31）通过导电金属（35）与固定滤光结构层的导电键合层（16）形成电连接；驱动电路芯片（40）采用标准集成电路工艺制备，包含用于倒装工艺的PAD点（41），采用倒装工艺将驱动电路芯片的PAD点（41）与盖帽（3）的PAD点（33）对准键合。

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