恭喜佳能特机株式会社谷和宪获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜佳能特机株式会社申请的专利基板输送装置、基板处理系统、基板输送方法、电子器件的制造方法及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113851390B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110682926.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板输送装置、基板处理系统、基板输送方法、电子器件的制造方法及存储介质是由谷和宪;小林康信设计研发完成，并于2021-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板输送装置、基板处理系统、基板输送方法、电子器件的制造方法及存储介质在说明书摘要公布了：本发明涉及从大型基板切出的基板的输送，抑制因切出位置的不同而导致的输送位置的偏差。基板输送装置具备：输送部件，其将分割大型基板而得到的多个基板中的任一个基板向处理装置内的交接位置输送，向该处理装置所具备的基板支承部件交接基板；以及控制部件，其对输送部件进行控制。获取部件获取由输送部件输送的基板的与在分割前的大型基板中的部位相关的基板信息。控制部件基于由获取部件获取的基板信息，使输送部件向交接位置输送基板。
本发明授权基板输送装置、基板处理系统、基板输送方法、电子器件的制造方法及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种基板输送装置，所述基板输送装置具备：输送部件，其将分割大型基板而得到的多个基板中的任一个基板向处理装置内的交接位置输送，向该处理装置所具备的基板支承部件交接所述基板；以及控制部件，其对所述输送部件进行控制，其特征在于，所述基板输送装置具备获取部件，所述获取部件获取由所述输送部件输送的基板的与在分割前的所述大型基板中的部位相关的基板信息，所述控制部件基于由所述获取部件获取的所述基板信息，使所述输送部件向所述交接位置输送所述基板，所述基板输送装置还具有存储部件，所述存储部件将修正所述交接位置的修正信息与所述基板信息相对应地进行存储。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人佳能特机株式会社，其通讯地址为：日本新泻县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号