恭喜东京毅力科创株式会社马场则夫获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置以及吹扫方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113161260B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110052278.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置以及吹扫方法是由马场则夫设计研发完成，并于2021-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置以及吹扫方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置以及吹扫方法。提供能够缩短将基板搬送室内置换为非活性气体的时间的技术。本公开的一个方式的基板处理装置具有：基板搬送室，其能够在大气环境与非活性气体环境之间进行切换；以及袋体，其设置在所述基板搬送室内，通过导入气体而膨胀，通过排出气体而收缩。
本发明授权基板处理装置以及吹扫方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，具有：基板搬送室，其能够在大气环境与非活性气体环境之间进行切换；以及袋体，其设置在所述基板搬送室内，通过导入气体而膨胀，通过排出气体而收缩，所述基板处理装置还具有循环流形成部，该循环流形成部使非活性气体在所述基板搬送室内循环，所述袋体由于被导入循环的所述非活性气体而膨胀。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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