恭喜东京毅力科创株式会社大森阳介获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利接合装置和接合方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114127907B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080051936.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权接合装置和接合方法是由大森阳介;菅川贤治设计研发完成，并于2020-07-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本接合装置和接合方法在说明书摘要公布了：实施方式所涉及的接合装置41具备保持部111、211、变形部114、213以及控制部70a。保持部111、211保持要被接合的基板W1、W2。变形部114、213使被保持于保持部111、211的基板W1、W2的中央部相对于基板W1、W2的外周部突出。控制部70a基于基板W1、W2的厚度、基板W1、W2的温度以及未被保持于保持部111、211的状态下的基板W1、W2的翘曲中的至少一方，针对每个基板W1、W2调整通过变形部114、213使基板W1、W2突出的突出量。
本发明授权接合装置和接合方法在权利要求书中公布了：1.一种接合装置，具备：保持部，其保持要被接合的基板；变形部，其使被保持于所述保持部的所述基板的中央部相对于所述基板的外周部突出；以及控制部，其基于相对于基准基板的所述基板的厚度、相对于所述基准基板的所述基板的温度以及未被保持于所述保持部的状态下的相对于所述基准基板的所述基板的翘曲中的至少一方，针对每个所述基板计算使所述基板的接合面的延伸量与所述基准基板的接合面的延伸量相等的所述基板的中央部的突出量，基于计算出的突出量来控制所述变形部使所述基板突出。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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