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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利转位式多站处理室中的晶片放置修正获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113906546B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080039812.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权转位式多站处理室中的晶片放置修正是由斯蒂芬·托平;牛东设计研发完成，并于2020-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本转位式多站处理室中的晶片放置修正在说明书摘要公布了：公开了用于确定和使用多种偏差以用于将晶片提供至多站处理室的传送基座的系统和技术。这样的技术可以用于提供基座特异性偏差，该偏差可以基于被分配给特定晶片的多站室的基座进行选择。可使用类似技术基于被分配给特定晶片的转位器的转位器臂，提供晶片支撑件特异性偏差。

本发明授权转位式多站处理室中的晶片放置修正在权利要求书中公布了：1.一种半导体处理设备，其包含：第一室，其具有转位器和以所述转位器的旋转轴为中心呈圆形阵列的N个基座，其中所述第一室的所述N个基座中的一个基座是传送基座，所述第一室的每一基座被配置成支撑晶片，N为大于1的整数，所述第一室包含与所述传送基座相关的主动晶片居中系统，且所述第一室是多站半导体处理室；晶片搬运机械手，其具有被配置成将单个的晶片提供至所述第一室的所述传送基座的机器手臂；以及控制器，其包含一或多个处理器以及一或多个存储器装置，其中：所述一或多个处理器、所述一或多个存储器装置、所述晶片搬运机械手、所述第一室的所述转位器、以及所述第一室的所述主动晶片居中系统能操作地彼此连接，且所述一或多个存储器装置存储计算机可执行指令，所述计算机可执行指令用于控制所述一或多个处理器以：a选择所述第一室的所述N个基座中的一个基座作为用于第一晶片的所述第一室的目的地基座；b从所述第一室的成组的N个基座偏差选择与所述第一室的所述目的地基座相关的第一基座偏差，所述第一室的所述成组的N个基座偏差中的每一基座偏差与所述第一室的所述N个基座的不同基座相关联；c当所述第一晶片在所述机器手臂上时从所述第一室的所述主动晶片居中系统获得表示所述第一晶片的中心的水平位置的信息；d至少部分地基于从所述第一室的所述主动晶片居中系统所获得的表示所述第一晶片的所述中心的所述水平位置的所述信息，确定与所述第一晶片相关的第一末端执行器偏差；e基于所述第一基座偏差和所述第一末端执行器偏差，使所述机器手臂将所述第一晶片提供至所述第一室的所述传送基座；f使所述第一室的所述转位器将所述第一晶片从所述第一室的所述传送基座移动至所述第一室的所述目的地基座；以及g使所述第一室在所述第一室的所述目的地基座上的所述第一晶片上进行一或多个半导体处理操作。

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