恭喜福建省福联集成电路有限公司温春兰获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜福建省福联集成电路有限公司申请的专利一种蚀刻与甩干一体式机台以及甩干机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111312614B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911196366.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种蚀刻与甩干一体式机台以及甩干机构是由温春兰;吴海达设计研发完成，并于2019-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蚀刻与甩干一体式机台以及甩干机构在说明书摘要公布了：本发明公开一种蚀刻与甩干一体式机台以及甩干机构，通过动力机构、控制机构、导轨、固定架的相互配合实现晶圆的甩干。首先位于甩干机构底部的导轨将从固定架内伸出，用于晶舟的放置。随后经所导轨将带晶舟一同移动至所述固定架中，随后通过动力机构工作，所述控制机构、导轨、固定架以及位于所述固定架内的晶舟将一同转动，甩干晶圆上残留的液体。通过动力机构、控制机构、导轨、固定架的相互配合将大幅提升晶圆的甩干效率，同时导轨的可伸缩设置将提高晶舟的运输效率。
本发明授权一种蚀刻与甩干一体式机台以及甩干机构在权利要求书中公布了：1.一种甩干机构，其特征在于，包括：动力机构、控制机构、导轨、固定架；所述动力机构与所述控制机构相连接，用于提供动力；所述固定架设置于所述控制机构一侧，用于固定晶舟的位置，且所述固定架上还设置有用于容置晶舟的孔洞；所述导轨可伸缩设置于控制机构一侧，并与所述固定架滑动连接，用于晶舟的放置；手臂杆，所述手臂杆可伸缩、可旋转的设置于所述控制机构上；且所述手臂杆远离所述控制机构的一端上还设置有卡板，并用于固定晶舟，所述手臂杆设置于晶舟的两侧，所述卡板卡合于晶舟的上部；所述手臂杆还包括软胶片，所述软胶片用于贴合、抓牢晶舟；所述软胶片的设置朝向与卡板相同；所述导轨为两根导轨杆，两根导轨杆的间距为晶舟底部支撑部之间的间距，且所述导轨杆分别用于容置晶舟底部的两个支撑部。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人福建省福联集成电路有限公司，其通讯地址为：351117 福建省莆田市涵江区江口镇赤港涵新路3688号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号