恭喜株式会社斯库林集团佐佐木悠太获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社斯库林集团申请的专利基板干燥方法及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111180360B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911095662.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板干燥方法及基板处理装置是由佐佐木悠太;高桥弘明;尾辻正幸设计研发完成，并于2019-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板干燥方法及基板处理装置在说明书摘要公布了：向基板的上表面供给包括升华性物质和溶剂的溶液即干燥前处理液。然后，通过使溶剂从基板上的干燥前处理液蒸发，从而在基板上的干燥前处理液中析出升华性物质的固体。然后，使升华性物质的固体的至少一部分溶解于基板上的干燥前处理液。然后，通过使溶剂从溶解有升华性物质的固体的干燥前处理液蒸发，从而在基板上析出升华性物质的固体。然后，通过使升华性物质的固体升华，从而从基板的上表面除去升华性物质的固体。
本发明授权基板干燥方法及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板干燥方法，其中，包括：干燥前处理液供给工序，向形成有图案的基板的上表面供给干燥前处理液，并在所述基板的所述上表面形成所述干燥前处理液的液膜，所述干燥前处理液是包含相当于溶质的升华性物质和溶解有所述升华性物质的溶剂的溶液；第一析出工序，通过使所述溶剂从所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液蒸发，从而在所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液中析出所述升华性物质的固体；第一溶解工序，使所述升华性物质的固体的至少一部分溶解于在形成所述液膜时向所述基板的所述上表面供给的所述基板的所述上表面上的所述干燥前处理液；最终析出工序，通过使所述溶剂从溶解了所述升华性物质的固体的所述干燥前处理液蒸发，从而在所述基板的所述上表面上析出所述升华性物质的固体；升华工序，通过使所述升华性物质的固体升华，从而从所述基板的所述上表面除去所述升华性物质的固体。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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