恭喜应美盛股份有限公司严沛文获国家专利权
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龙图腾网恭喜应美盛股份有限公司申请的专利集成有加热器的传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112996745B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980054397.3,技术领域涉及:B81B7/00;该发明授权集成有加热器的传感器是由严沛文;刘廷渊;任颉;林宗贤;约瑟·西格;卡林·麦克劳斯设计研发完成,并于2019-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本集成有加热器的传感器在说明书摘要公布了:一种具有微机电系统MEMS传感器管芯的装置包括可变形膜、MEMS加热元件和衬底。所述MEMS加热元件和所述可变形膜集成于同一层且同一平面内。所述MEMS加热元件环绕所述可变形膜,且通过沟槽与所述可变形膜分离。所述MEMS加热元件用于产生热量,以加热所述可变形膜。所述衬底耦合于所述可变形膜上。
本发明授权集成有加热器的传感器在权利要求书中公布了:1.一种装置,其特征在于,包括:微机电系统MEMS传感器管芯,所述微机电系统传感器管芯包括:可变形膜;以及MEMS加热元件,与所述可变形膜集成于同一层且同一平面内;其中,所述MEMS加热元件设置于所述可变形膜的外周边;所述MEMS加热元件通过沟槽与所述可变形膜电隔离;所述MEMS加热元件用于产生热量,以加热所述可变形膜;所述可变形膜的外周定位于氧化层上,所述可变形膜、所述氧化层和衬底形成一空腔,所述衬底包括形成于所述衬底上表面的电极,所述衬底上表面面向所述空腔内的所述可变形膜。
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