恭喜金阳(泉州)新能源科技有限公司林楷睿获国家专利权
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龙图腾网恭喜金阳(泉州)新能源科技有限公司申请的专利一种背接触电池的后制绒制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119451281B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510026022.3,技术领域涉及:H10F71/00;该发明授权一种背接触电池的后制绒制备方法是由林楷睿设计研发完成,并于2025-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种背接触电池的后制绒制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于背接触电池技术领域,具体涉及一种背接触电池的后制绒制备方法,包括:S01中抛光包括第一酸洗步骤,第一酸洗采用包含氢氟酸、盐酸、臭氧的第一混合溶液,调节第一混合溶液中臭氧的浓度使得在硅片表面形成第一氧化层,S04中制绒后的所述清洗的过程包含碱洗A和酸洗B,酸洗B分为两步:先采用含氢氟酸的酸性溶液腐蚀法去除部分厚度的掩膜层,后直接采用包含氢氟酸、盐酸、臭氧的第二混合溶液进行第二酸洗;调节第二混合溶液中臭氧的浓度使得在硅片背面和正面分别形成第二氧化层。本发明能够提高各氧化层的均匀性和电池的开路电压,最终达到降低生产成本并提高电池效率的目的。
本发明授权一种背接触电池的后制绒制备方法在权利要求书中公布了:1.一种背接触电池的后制绒制备方法,包括:S01、对硅片双面抛光;S02、在硅片背面形成第一半导体层、掩膜层,其中,第一半导体层包含第一隧穿氧化层和第一掺杂多晶硅层;S03、之后在背面刻蚀开口形成第二半导体开口区;S04、然后进行制绒、清洗;S05、接着在硅片正面形成钝化层、减反层;S06、二次清洗,去除背面绕镀后回洗;S07、之后在背面沉积第二半导体层;其特征在于,S01中抛光包括第一酸洗步骤,第一酸洗采用包含氢氟酸、盐酸、臭氧的第一混合溶液,调节第一混合溶液中臭氧的浓度使得在硅片表面形成厚度为0.5-1.0nm的第一氧化层;且S02中的第一隧穿氧化层形成在第一氧化层的外表面,第一隧穿氧化层的沉积温度控制在550-700℃;S04中制绒后的所述清洗的过程包含碱洗A和酸洗B,酸洗B分为两步:先采用含氢氟酸的酸性溶液腐蚀法去除部分厚度的掩膜层,后直接采用包含氢氟酸、盐酸、臭氧的第二混合溶液进行第二酸洗;调节第二混合溶液中臭氧的浓度使得在硅片背面和正面分别形成厚度为0.5-2.0nm的第二氧化层,且第二氧化层的厚度不小于第一氧化层的厚度;且S05中钝化层包含第二隧穿氧化层和第二掺杂非晶硅层,第二隧穿氧化层形成在第二氧化层的外表面,第二隧穿氧化层的沉积温度控制在350-500℃。
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