江阴慕达斯真空设备有限公司杨玉飞获国家专利权
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龙图腾网获悉江阴慕达斯真空设备有限公司申请的专利一种基于镀膜质量的真空镀膜设备故障检测方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119397406B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510008017.X,技术领域涉及:G06F18/2415;该发明授权一种基于镀膜质量的真空镀膜设备故障检测方法及系统是由杨玉飞设计研发完成,并于2025-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于镀膜质量的真空镀膜设备故障检测方法及系统在说明书摘要公布了:本发明提供一种基于镀膜质量的真空镀膜设备故障检测方法及系统,涉及真空镀膜设备检测技术领域,方法包括:通过调整各种故障类别和正常状态下的自变量获取因变量;根据故障对照数据集,构建故障对照数据集的多元线性回归模型;结合信息准则确定故障对照数据集的最优分位数;并利用多元线性回归模型对每段故障对照数据集进行回归,获取每段故障对照数据集下的多元线性回归模型系数;计算各个镀膜质量数据对各个影响因素的影响权重;结合各个影响权重构建用于输出故障类别的具有加权值的朴素贝叶斯分类器;获取实时镀膜质量数据;将实时镀膜质量数据作为改进朴素贝叶斯分类器的输入数据,输出预测故障类别。提升故障检测效率和准确性。
本发明授权一种基于镀膜质量的真空镀膜设备故障检测方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于镀膜质量的真空镀膜设备故障检测方法,其特征在于,包括:S1:以镀膜质量数据的影响因素作为自变量,基材的镀膜质量数据作为因变量,通过调整各种故障类别和正常状态下的自变量获取所述因变量,其中,所述自变量和所述因变量组成故障对照数据集;S2:根据所述故障对照数据集,以最小化每个影响因素的损失值为目标函数构建所述故障对照数据集的多元线性回归模型;S3:结合信息准则确定所述故障对照数据集的最优分位数,其中,所述最优分位数为所述信息准则最低时的分位数取值;S4:根据所述最优分位数对所述故障对照数据集进行分段,并利用所述多元线性回归模型对每段故障对照数据集进行回归,获取每段故障对照数据集下的多元线性回归模型系数;S5:结合所述最优分位数和每段故障对照数据集下的多元线性回归模型系数计算各个镀膜质量数据对各个影响因素的影响权重,其中,所述影响权重即使得所述目标函数最小的自变量系数;S6:结合各个影响权重构建用于输出故障类别的具有加权值的改进朴素贝叶斯分类器,其中,所述故障类别为所述影响因素的关联类别;S7:获取实时镀膜质量数据;S8:将所述实时镀膜质量数据作为所述改进朴素贝叶斯分类器的输入数据,输出预测故障类别。
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