合肥晶合集成电路股份有限公司宫珊珊获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利半导体量测方法和量测主站点获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119381283B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411985013.9，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权半导体量测方法和量测主站点是由宫珊珊;许元和;蔡俊郎设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体量测方法和量测主站点在说明书摘要公布了：本申请涉及一种半导体量测方法和量测主站点，包括：提供一批待测样品，采用一量测主站点对待测样品进行良率监控；在所述量测主站点的站点过货开关开启时，采用量测主站点中的第一切入站点对所述待测样品进行处理，生成所述待测样品的第一过货记录，并将待测样品传送至下一站点；所述站点过货开关开启表征所述量测主站点对当前批次的所述待测样品进行采样；在所述量测主站点的站点过货开关关闭时，采用量测主站点中的虚拟切入站点生成所述待测样品通过所述第一切入站点的虚拟过货记录，并将待测样品传送至下一站点；所述站点过货开关关闭表征所述量测主站点未对当前批次的所述待测样品进行采样。本申请提升了提升量测监控效率和灵活性。
本发明授权半导体量测方法和量测主站点在权利要求书中公布了：1.一种半导体量测方法，其特征在于，包括：提供一批待测样品，采用一量测主站点对所述待测样品进行良率监控；在所述量测主站点的站点过货开关开启时，采用所述量测主站点中的第一切入站点对所述待测样品进行处理，生成所述待测样品的第一过货记录，并将所述待测样品传送至下一站点；所述站点过货开关开启表征所述量测主站点对当前批次的所述待测样品进行采样；在所述量测主站点的站点过货开关关闭时，采用所述量测主站点中的虚拟切入站点生成所述待测样品通过所述第一切入站点的虚拟过货记录，并将所述待测样品传送至下一站点；所述站点过货开关关闭表征所述量测主站点未对当前批次的所述待测样品进行采样。
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