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龙图腾网获悉佛山德玛特智能装备科技有限公司申请的专利一种晶圆缺陷检测设备及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119355011B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411909370.7，技术领域涉及：G01N23/04；该发明授权一种晶圆缺陷检测设备及检测方法是由尹振圆;郑学刚设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆缺陷检测设备及检测方法在说明书摘要公布了：本发明涉及检测技术领域，公开一种晶圆缺陷检测设备及检测方法。检测设备包括：检测台，具有相对台面下凹设置的升降槽；检测信号发射器，通过龙门架固定在检测台上方；检测间距调节装置，设置在升降槽内并可相对台面进行Z轴向的纵向运动；检测信号接收器，固定在检测间距调节装置上；运动平台，设置在台面上，包括相对台面进行X轴向运动的第一运动组件和设置在第一运动组件上并相对台面进行Y轴运动的第二运动组件；检测转台，用于吸附固定晶圆，检测转台固定在第二运动组件上并提供以Z轴向进行旋转，其中部具有Z轴向延伸的检测通道。本发明具有检测准确及检测效率高等优点。

本发明授权一种晶圆缺陷检测设备及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于，包括：检测台（1），检测台（1）的台面具有下凹设置的升降槽（10）；检测信号发射器，通过龙门架（9）固定在检测台（1）上方；检测间距调节装置（8），设置在升降槽（10）内并可相对台面进行Z轴向的纵向运动；检测信号接收器，固定在检测间距调节装置（8）上并通过检测间距调节装置（8）来调节与检测信号发射器之间的检测间距；运动平台，设置在台面上，包括相对台面进行X轴向运动的第一运动组件（2）和设置在第一运动组件上并相对台面进行Y轴运动的第二运动组件（4）；检测转台（6），用于吸附固定晶圆，检测转台固定在第二运动组件（4）上并提供以Z轴向进行旋转，其中部具有Z轴向延伸的检测通道，检测转台包括：与第二运动组件（4）为一体结构的环形外壳（61）；通过轴承（63）设置在环形外壳（61）中的芯轴（62）；设置在芯轴（62）与环形外壳（61）之间的环形旋转电机；与芯轴（62）固定相连的载物盘（66），载物盘（66）具有吸附结构以吸附固定晶圆；其中，检测通道由在载物盘（66）和芯轴（62）上沿Z轴向贯通的贯通槽形成；检测间距调节装置（8）包括：固定在升降槽（10）内的槽座套（81）；用于固定检测信号接收器的升降台（82），设置在槽座套（81）内；设置在槽座套（81）与升降台（82）第一竖侧面之间的第三直线电机，以驱动升降台（82）相对槽座套（81）在Z轴向做直线升降运动；用于使升降台（82）在Z轴向位置保持的气缸（87），固定在槽座套（81）底部，气缸（87）的推杆通过铰接结构（88）与升降台（82）的第二竖侧面相连；第一运动组件（2）包括：两个Y轴走向且间隔设置的第一支架梁（21）；连接在两个第一支架梁（21）第一末端的第一连接梁（22）；固定在两个第一支架梁（21）第二末端的支撑板（24）；两个第一直线电机，两个第一直线电机的第一电机动子（31）分别固定在两个第一支架梁（21）第一末端与第二末端之间，两个第一直线电机的第一电机定子（32）分别固定在检测台（1）的台面；第二运动组件（4）包括：位于两个第一支架梁（21）之间的移动支架（41），移动支架（41）的两相对侧边与两个第一支架梁（21）之间滑动配合相连；用于驱动移动支架（41）进行Y轴运动的第二直线电机，第二直线电机包括与移动支架（41）固定相连的第二电机动子（51）和用于驱动第二电机动子（51）的第二电机定子（52），第二电机定子（52）固定在支撑板（24）上。

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