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龙图腾网获悉苏州芯慧联半导体科技有限公司申请的专利一种基于磁浮传输线的倒片系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119361495B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411911063.2，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种基于磁浮传输线的倒片系统是由程亚飞;马生林设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于磁浮传输线的倒片系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种基于磁浮传输线的倒片系统，属于半导体自动化工艺技术领域，具体包括磁浮传输线单元、晶圆传输单元和载具翻转搬运单元，磁浮传输线单元包括传输主线路，磁浮传输线单元还包括载具上料口、载具下料口、立库上料口、立库下料口以及在传输线路上移动的磁浮线动子，磁浮线动子拉载第一载具和第二载具在传输线路上移动，立库上料口处和立库下料口处分别设有载具翻转搬运单元；传输主线路上设有多个依次连接的倒片岔道，每个倒片岔道配置一个晶圆传输单元，通过倒片岔道完成晶圆传输单元对晶圆做倒片动作时第一载具和第二载具的缓存与调度。本申请方案提高了倒片效率，使载具全自动传输具备了可行性。

本发明授权一种基于磁浮传输线的倒片系统在权利要求书中公布了：1.一种基于磁浮传输线的倒片系统，其特征在于，所述系统包括磁浮传输线单元（100）、晶圆传输单元（200）和载具翻转搬运单元（300），磁浮传输线单元（100）用于对用于倒片的第一载具（111）和第二载具（112）进行传输，晶圆传输单元（200）用于将第一载具（111）中的晶圆倒片至第二载具（112），载具翻转搬运单元（300）用于对倒片完成后的第二载具（112）进行翻转搬运；磁浮传输线单元（100）包括传输线路，传输线路的中间位置为传输主线路（107），磁浮传输线单元（100）还包括位于传输线路一侧的载具上料口（105）和载具下料口（106）、位于传输线路另一侧的立库上料口（109）和立库下料口（110）以及在传输线路上移动的磁浮线动子（104），磁浮线动子（104）用于拉载第一载具（111）和第二载具（112）在传输线路上移动，立库上料口（109）处和立库下料口（110）处分别设有载具翻转搬运单元（300）；传输主线路（107）上设有多个依次连接的倒片岔道（108），每个倒片岔道（108）配置一个晶圆传输单元（200），通过倒片岔道（108）完成晶圆传输单元（200）对晶圆做倒片动作时第一载具（111）和第二载具（112）的缓存与调度。

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