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龙图腾网获悉英穆自动化科技(厦门)有限公司申请的专利一种晶圆键合设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119252774B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411768503.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆键合设备及方法是由吕志艺;黄华星;黄海;王惠荣设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆键合设备及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆键合设备和方法，该设备包括用于压合晶圆的气囊装置；气囊装置包括依次上下设置的安装架、浮动机构、固定架和气囊；气囊安装于固定架下方，固定架与安装架通过浮动机构转动连接；浮动机构包括球轴承和若干支杆，球轴承两端分别连接于固定架中部与安装架中部，各支杆分别周向间隔的分布于球轴承的外周，支杆下端连接固定于固定架，支杆上端活动穿设于安装架上设置的活动孔。借此，通过设置浮动机构，在晶圆键合过程中，气囊对晶圆下压时，借由球轴承的转动连接以及各支杆的限位，气囊可以在一定幅度内进行自由摆动，可以实现将两片晶圆中的气泡从中间向外排除的效果，确保两片晶圆之间键合紧密，提高键合强度和精度。

本发明授权一种晶圆键合设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合设备，其特征在于：包括用于压合晶圆的气囊装置；所述气囊装置包括依次上下设置的安装架、浮动机构、固定架和气囊；所述气囊安装于固定架下方，固定架与安装架通过浮动机构转动连接；所述浮动机构包括球轴承和四根支杆，球轴承两端分别连接于固定架中部与安装架中部，各支杆分别周向间隔的分布于球轴承的外周，支杆下端连接固定于固定架，支杆上端活动穿设于安装架上设置的活动孔；所述固定架下方设有气囊安装板；所述气囊安装板包括上下设置的上支撑板和下支撑板，气囊的上部受上支撑板和下支撑板夹持固定；所述下支撑板呈环状，气囊充气后的下部能够从下支撑板的环形孔向下膨胀形成圆弧鼓包；所述气囊安装板和固定架之间设有传感器安装板和若干压力传感器；传感器安装板连接固定气囊安装板上方，各压力传感器以固定架的中心周向间隔的分布；所述固定架和传感器安装板均呈圆盘状，所述固定架的外径小于传感器安装板的外径，所述压力传感器的内端上侧与固定架底部连接，所述压力传感器的外端下侧与传感器安装板的顶部连接。

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