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龙图腾网恭喜国网上海市电力公司;西北工业大学;国网宁夏电力有限公司电力科学研究院;国网山西省电力公司;全球能源互联网研究院有限公司;西安茂荣电力设备有限公司申请的专利基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111397515B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010152756.3，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔及其制作方法是由司文荣;虞益挺;傅晨钊;李浩勇;吴旭涛;陆启宇;黄华;王谢君;徐梦飞;黄昊;李秀广;梁基重;药炜;何宁辉;周秀;马飞越;陈川;刘昕;袁鹏设计研发完成，并于2020-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔及其制作方法，包括梅花型光纤、引导孔、支撑框架、孔肩、干涉腔本体、敏感膜片、第一反射层和第二反射层；所述梅花型光纤包括中心光纤和环绕光纤；所述梅花型光纤固接在引导孔中并与第二反射层相连接，所述的中心光纤与第一反射层中心对准，所述的环绕光纤与第二反射层相连接，所述第二反射层设在引导孔底部和干涉腔本体构成的孔肩上，所述干涉腔本体设在引导孔的底部且与引导孔的中心同轴，所述敏感膜片制作在干涉腔本体的底部并与支撑框架连接，所述第一反射层设在敏感膜片上。与现有技术相比，本发明具有工艺流程少、加工难度低、结构设计灵活、制作成本低等优点。

本发明授权基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔，其特征在于，包括梅花型光纤1、引导孔2、支撑框架3、孔肩4、干涉腔本体5、敏感膜片6、第一反射层7和第二反射层8；所述梅花型光纤1包括中心光纤9和环绕光纤10；所述梅花型光纤1固接在引导孔2中并与第二反射层8相连接，所述的中心光纤9与第一反射层7中心对准，所述的环绕光纤10与第二反射层8相连接，所述第二反射层8设在引导孔2底部和干涉腔本体5构成的孔肩4上，所述干涉腔本体5设在引导孔2的底部且与引导孔2的中心同轴，所述敏感膜片6制作在干涉腔本体5的底部并与支撑框架3连接，所述第一反射层7设在敏感膜片6上；光源发出的光通过光纤环形器进入分光器，经分光器分成N束光，其中N-1束进入环绕光纤10被引导孔2底部的第二反射层8反射进入光纤，剩余一束光进入中心光纤9被敏感膜片6上的第一反射层7反射重新进入光纤，这N部分光束在分光器中汇聚干涉，汇聚干涉后的光束通过光纤环形器进入后端检测系统。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人国网上海市电力公司;西北工业大学;国网宁夏电力有限公司电力科学研究院;国网山西省电力公司;全球能源互联网研究院有限公司;西安茂荣电力设备有限公司，其通讯地址为：200122 上海市浦东新区自由贸易试验区源深路1122号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。