恭喜费勉仪器科技(上海)有限公司赵嘉峰获国家专利权
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龙图腾网恭喜费勉仪器科技(上海)有限公司申请的专利一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110895253B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911345465.X,技术领域涉及:G01N23/2251;该发明授权一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置是由赵嘉峰;鹿建;王艳会;谢斌平;赵子淳设计研发完成,并于2019-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置在说明书摘要公布了:本发明提供了一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置,其特征在于:包括真空腔体、真空抽气装置、电子产生发射装置、样品固定装置、光子收集和传输装置和高分辨率光栅光谱分析仪器;所述电子产生发射装置的一端插入所述真空腔体内;所述真空抽气装置连接所述真空腔体;所述样品固定装置的一端在所述真空腔体内;所述高分辨率光栅光谱分析仪器设置在所述光子收集和传输装置上。一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置,所述高分辨率光栅光谱分析仪器替换为深紫外窄带滤波片和光子能量探测器;所述深紫外窄带滤波片和光子能量探测器相连。本发明的有益效果是:能够更高效地收集反光电子效应产生的光子,有效地提高系统的分辨率。
本发明授权一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置在权利要求书中公布了:1.一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置,其特征在于:包括真空腔体、真空抽气装置、电子产生发射装置、样品固定装置、光子收集和传输装置、高分辨率光栅光谱分析仪器、长度调节装置和角度调节装置;所述电子产生发射装置的一端插入所述真空腔体内;所述真空抽气装置连接所述真空腔体;所述样品固定装置的一端在所述真空腔体内;所述高分辨率光栅光谱分析仪器设置在所述光子收集和传输装置上;所述光子收集和传输装置为椭圆状;所述长度调节装置和角度调节装置位于所述高分辨率光栅光谱分析仪器和所述光子收集和传输装置的连接处;所述角度调节装置的一端固定在所述光子收集和传输装置上,所述角度调节装置的另一端固定在所述长度调节装置的一端上;所述长度调节装置的另一端固定在所述真空腔体上。
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