恭喜佳能特机株式会社小林康信获国家专利权
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龙图腾网恭喜佳能特机株式会社申请的专利对准方法、使用对准方法的蒸镀方法及电子器件制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110408886B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201811567308.9,技术领域涉及:C23C14/04;该发明授权对准方法、使用对准方法的蒸镀方法及电子器件制造方法是由小林康信设计研发完成,并于2018-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本对准方法、使用对准方法的蒸镀方法及电子器件制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供对准方法、使用对准方法的蒸镀方法及电子器件制造方法,对准方法通过进行对基板和掩模的1次位置对合的第1对准和进行对基板和掩模的2次位置对合的第2对准,使基板和掩模位置对合,其特征在于,该对准方法包括以下的工序:作为预备对准阶段,依次进行第1对准和第2对准,将设置在第2对准完成时的基板上的第1对准用基板标记作为假想的第1对准用基板标记进行登记;以及作为预备对准阶段以后的正式对准阶段,通过以所登记的假想的第1对准用基板标记的位置为基准,使基板及掩模中的至少一方相对移动以使设置在基板上的第1对准用基板标记的位置被收纳在预定的位置范围内,从而进行第1对准。
本发明授权对准方法、使用对准方法的蒸镀方法及电子器件制造方法在权利要求书中公布了:1.一种对准方法,通过进行对基板和掩模的1次位置对合的作为粗糙对准的第1对准和进行对所述基板和所述掩模的2次位置对合的作为精细对准的第2对准,使所述基板和所述掩模位置对合,其特征在于,该对准方法包括以下的工序:作为预备对准阶段,以设置在所述掩模上的掩模标记的位置为基准,依次进行所述第1对准和所述第2对准以使设置在所述基板上的基板标记的位置被收纳在预定的位置范围内,将所述第2对准完成时的设置在所述基板上的第1对准用基板标记作为假想的第1对准用基板标记进行登记;以及作为所述预备对准阶段以后的正式对准阶段,通过以所登记的所述假想的第1对准用基板标记的位置为基准,使所述基板及所述掩模中的至少一方相对移动以使设置在所述基板上的所述第1对准用基板标记的位置被收纳在预定的位置范围内,从而进行所述第1对准。
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