恭喜合肥真萍电子科技有限公司刘汉东获国家专利权
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龙图腾网恭喜合肥真萍电子科技有限公司申请的专利一种石英舟装载晶圆的装载装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114743911B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210349729.4，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种石英舟装载晶圆的装载装置是由刘汉东设计研发完成，并于2022-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石英舟装载晶圆的装载装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种石英舟装载晶圆的装载装置，包括两组升降机构，石英舟置于其中一组升降机构的运动部件上，机械手置于另一组升降机构的运动部件上，两组升降机构同步反向运动。本发明能够具有较高的装载效率。
本发明授权一种石英舟装载晶圆的装载装置在权利要求书中公布了：1.一种石英舟装载晶圆的装载装置，包括用于装载晶圆的石英舟，以及用于向石英舟装入晶圆的机械手，其特征在于：还包括两组升降机构，所述石英舟置于其中一组升降机构的运动部件上，机械手置于另一组升降机构的运动部件上，两组升降机构通过同步反向传动机构连接，以使两组升降机构的运动部件同步反向运动；两组升降机构均为丝杆滑台机构，丝杆滑台机构中的滑台分别竖直升降，滑台作为升降运动的运动部件；所述同步反向传动机构包括同步带机构和齿轮组，齿轮组中至少一个齿轮固定于其中一组丝杆滑台机构的丝杆，同步带机构中一个带轮固定于另一组丝杆滑台机构的丝杆，同步带机构中另一个带轮与齿轮组中其他至少一个齿轮同轴连接，通过齿轮组中齿轮和同步带机构配合实现同步运动的反向传递。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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