恭喜株式会社荏原制作所富田正辉获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网恭喜株式会社荏原制作所申请的专利镀覆装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115210413B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180016348.8,技术领域涉及:C25D17/00;该发明授权镀覆装置是由富田正辉;关正也设计研发完成,并于2021-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀覆装置在说明书摘要公布了:提供一种顺畅地进行镀覆液向被镀覆面的接触并且能够抑制气泡残留于被镀覆面的镀覆装置。镀覆装置的基板保持器具有:头部模块,用于与基板接触来进行保持;倾斜模块,构成为使头部模块倾斜;以及升降模块,构成为使头部模块升降。倾斜模块具有:第一部件;第二部件,支承头部模块并且相对于第一部件连接为能够绕旋转轴旋转;以及致动器,用于使第二部件绕旋转轴旋转。旋转轴从保持于头部模块的基板的中心偏移,升降模块构成为通过使倾斜模块的第一部件升降来使基板保持器升降。
本发明授权镀覆装置在权利要求书中公布了:1.一种镀覆装置,其特征在于,具备:镀覆槽,贮存镀覆液,并且配置有阳极;和基板保持器,配置于所述阳极的上方并用于面对所述阳极的上表面来保持作为阴极的基板,所述基板保持器具有:头部模块,用于与所述基板接触来进行保持;倾斜模块,构成为使所述头部模块倾斜;以及升降模块,构成为使所述头部模块升降,所述倾斜模块具有:第一部件;第二部件,支承所述头部模块并且相对于所述第一部件连接为能够绕旋转轴旋转;以及致动器,用于使所述第二部件绕所述旋转轴旋转,所述旋转轴从保持于所述头部模块的基板的中心偏移,所述升降模块构成为通过使所述倾斜模块的所述第一部件升降来使所述基板保持器升降,所述第一部件具有在铅垂方向延伸的铅垂延伸部分,所述升降模块与所述铅垂延伸部分的水平方向上的一端侧连接,所述旋转轴相对于所述第一部件中的连接所述升降模块的方向垂直地延伸。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社荏原制作所,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。