恭喜日本株式会社日立高新技术科学望月稔宏获国家专利权
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龙图腾网恭喜日本株式会社日立高新技术科学申请的专利会聚离子束装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112563099B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011022906.5,技术领域涉及:H01J37/08;该发明授权会聚离子束装置是由望月稔宏;石井晴幸;上本敦设计研发完成,并于2020-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本会聚离子束装置在说明书摘要公布了:提供会聚离子束装置。在实际照射会聚离子束之前,至少能够掌握射束以怎样的朝向照射固定试样的试样台。会聚离子束装置具有:会聚离子束镜筒20,其用于对试样200照射会聚离子束20A;试样台51,其载置试样;以及试样载台,其载置试样台,至少能够沿水平方向和高度方向移动,其中,会聚离子束装置100还具有:存储部6M,其预先存储试样台和会聚离子束的照射轴线的三维数据,三维数据与试样载台的载台坐标相关联;显示部7;以及显示控制部6A,其根据试样台和会聚离子束的照射轴线的三维数据,使显示部显示使试样载台进行动作而使试样台移动到规定的位置时的虚拟的试样台51v和会聚离子束的照射轴线20Av的位置关系。
本发明授权会聚离子束装置在权利要求书中公布了:1.一种会聚离子束装置,其具有:会聚离子束镜筒,其用于对试样照射会聚离子束;试样台,其载置所述试样;以及试样载台,其载置所述试样台,至少能够沿水平方向和高度方向移动,其特征在于,所述会聚离子束装置还具有:存储部,其预先存储所述试样台和所述会聚离子束的照射轴线的三维数据,所述三维数据与所述试样载台的载台坐标相关联;显示部;以及显示控制部,其根据所述试样台和所述会聚离子束的照射轴线的三维数据,使所述显示部显示使所述试样载台进行动作而使所述试样台移动到规定的位置时的虚拟的所述试样台与虚拟的所述会聚离子束的照射轴线之间的位置关系,所述规定的位置使所述试样位于被所述会聚离子束照射的与共心高度一致的照射位置,所述共心高度与在所述试样台上载置了试样的状态下即使使试样倾斜试样上的特定的观察点也不发生移动的所述试样载台的高度对应。
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