恭喜富士胶片株式会社畠山直也获国家专利权
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龙图腾网恭喜富士胶片株式会社申请的专利感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114303098B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080060658.5,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法是由畠山直也;米久田康智;富贺敬充;东耕平;吉野文博设计研发完成,并于2020-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、由上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法,上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有:A通过酸的作用而极性增大的树脂;B光产酸剂;及阴离子P,其为选自由NO3‑、SO42‑、Cl‑及Br‑组成的组中的1种以上的阴离子,其中,相对于感光化射线性或感放射线性树脂组合物的总质量,上述阴离子P的含量为0.01ppb以上且100ppm以下。
本发明授权感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物,其含有:(A)通过酸的作用而极性增大的树脂;(B)光产酸剂;及阴离子(P),其为选自由NO3-、SO42-、Cl-及Br-组成的组中的1种以上的阴离子,其中,相对于感光化射线性或感放射线性树脂组合物的总质量,所述阴离子(P)的含量为0.01ppb以上且10ppb以下。
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